產(chǎn)品簡介：

    該MicroSpy型產(chǎn)品是一款用于物體表面2D或3D的非接觸式測量的，且物美價(jià)廉的單傳感器光學(xué)表面形貌儀。該設(shè)備不可用于研發(fā)部門，同樣也可以用于技術(shù)、汽車、半導(dǎo)體、PV、微機(jī)電、光學(xué)等工業(yè)生產(chǎn)控制中。

測量原理：

    MicroSpy表面形貌儀使用色差來判斷距離（chromatic distance measurement）的測量原理。通過一個(gè)對波長很敏感的焦距測量頭，設(shè)備將白光聚焦于待測物體表面。物體表面散射光的光譜在分光計(jì)上產(chǎn)生一個(gè)峰值，然后該波長的峰值就被用于檢測樣品表面的高度。該測量設(shè)備可以用于檢測透明性、高反射性甚至是吸光性材料的表面形貌。

基本參數(shù)：
● 測量系統(tǒng)參數(shù)：
    測量原理：干涉法測量/反射法測量
    系統(tǒng)設(shè)計(jì)：顯微鏡配合X、Y方向平臺(tái)，干涉或反射傳感器，帶照明的面陣CCD
    樣品定位：精密的145mm×145mm的可電動(dòng)調(diào)節(jié)平臺(tái)，移動(dòng)范圍50mm×50mm(X、Y)
    鏡頭調(diào)節(jié)：手動(dòng)的粗調(diào)加細(xì)調(diào)的調(diào)節(jié)方式，上下調(diào)節(jié)的范圍為80mm
    儀器尺寸：58cm×25cm×40cm(高，寬，長)
    整機(jī)重量：20Kg
    供電電源：100－240V，50-60Hz，220W

● 薄膜厚度傳感器選擇：
                 FTR VIS     FTR NIR     FTR  VIS/NIR    FTR UV/VIS    FTR UV/VIS/NIR
    測量范圍： 50-20μm   70-70μm    50-100μm      10-20μm     10-70μm
    膜厚分辨率： 1nm
    橫向分辨率： 不使用額外光學(xué)器件200μm-800μm (使用額外光學(xué)器件10μm)
    測量角度： 90o±5o 
    工作距離：約5mm
    波長范圍： 400-850nm   650-1100nm     400-1100nm      250-850nm       250-1100nm
    光        源： 鹵素?zé)?nbsp;       鹵素?zé)?nbsp;       鹵素?zé)?nbsp;       氘燈        氘燈  

● 標(biāo)準(zhǔn)膜厚傳感器選擇：
              CWL FT 10μm³       CWL FT 10μm³      CWL IR 500        CWL IR 1000 
    測量范圍：   3-8μm             3-8μm             34-1900μm          60-3500μm
    膜厚分辨率： 10nm            10nm                 100nm                 100nm           
    橫向分辨率：  5μm              20μm             6.5μm             6.5μm
    測量角度：   90o±10o         90o±5o            90o±7o              90o±7o 
    工作距離：   9.5mm                27mm                19.4mm             19.4mm
    光        源：  LED(白光)              LED(白光)           IR-LED(1300nm)    IR-LED(1300nm)

● 軟件包
    數(shù)據(jù)采集軟件： 操作簡單，樣品表面實(shí)時(shí)成像圖片，自動(dòng)操作
    數(shù)據(jù)分析軟件： 分析2D及3D表面的膜厚及形貌，并可建立評(píng)估函數(shù)
    實(shí)   驗(yàn)   報(bào)  告： 用戶可自定義樣式，及用戶可根據(jù)使用者的輸入情況自行輸入額外的信息