- 品牌/商標：HORIBA
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 原產(chǎn)地：j.p.
■高（設(shè)定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。
■全流量范圍的高速響應(yīng) （新的可變PID運算法則：1秒高速響應(yīng)） SEC-N100 系列搭載了新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對于所有設(shè)置點它可以實現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據(jù)當下的設(shè)定點不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
■多氣體，多量程的解決方案 專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力 新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。
■全流量范圍的高速響應(yīng) （新的可變PID運算法則：1秒高速響應(yīng)） SEC-N100 系列搭載了新開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對于所有設(shè)置點它可以實現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據(jù)當下的設(shè)定點不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
■多氣體，多量程的解決方案 專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力 新的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。
