LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN新系列掃描電子顯微鏡中配置的型號。
1.獨有的四透鏡大視野光學（Wide Field Optics?）和Tescan特有可優化電子束光闌的中間鏡設計，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.選配了氣體注入系統。
3.鏡筒內沒有需要機械對中結構，取而代之的是容易操作和保養的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉換器”的作用。
5.高吞吐量/自動取域。例：自動顆粒定點分析。
6.出眾的電動載臺設計，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強力的渦淪分子泵和機械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動設置包括電子光路設置和對中。
9.網絡操作和內置的遠程監控/診斷是Tescan的標準配備。
10.強大的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動補償偏壓,改變電子束大小，
自動調整電子束大小,依據訊號/噪聲比自動調整掃描速度,自動對比/亮度調整,自動聚焦,自動調整像差等。
11.完全自動的軟件安裝.
12.強大的圖象處理功能,使用的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實時圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9種方式。
3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時顯示任意張實時影像或儲存影像。
II.掃描速度：從160ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續式的調整。
III.聚焦窗口：可連續式調整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動態聚焦,點&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動對比調整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測功能：提供量測任意兩點的距離，量測任意夾角，不規則形狀的面積和周長，劃指示箭頭，寫說明文字等13種圖像量測的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲存圖像的相本。
2).找尋已儲存圖像的數據庫系統。
3).產生及從程序中直接打印。
4).實時或儲存的圖像均可處理。
13.卓越的分析品質;
1)選擇目標區域：以灰階及彩色為起始點-針對選擇的區域著色及量測。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標準來測量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數。
5)打印放大倍數：調整顯示屏以及打印輸出時放大倍數差異。
6)關機時間設定：可以設定次自動關機時間。
7)公差
可選配軟件
8)形態學：該軟件可對樣品圖片進行自動分析，測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數碼相機等。
9)顆粒度分析：可以對多區域內的樣品進行自動測量，分析和分類（不過分析樣品必須在掃描窗口內）。該軟件結合形態學軟件使用，功能更加完善。
10)自動連續截圖
11)樣品觀測
12)鼠標連接：安裝該軟件后，可以用電鏡的鼠標控制其他連接的設備的鼠標進行操作。

場發射(FE-SEM)部分：
1.分辨率:
高真空(SE):1.2nm at 30kV,2.0nm at 3kV ,3.5nm at 1kV
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV
2.放大倍數:3 tox
3.真空系統:高真空：樣品室<9*10-3Pa，
槍體真空<1*10-6Pa
低真空：7 to 150Pa,高、低真空可隨時方便切換.
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—2μA
離子束(FIB)部分：
6.分辨率：<5nm at 30kV and 1pA(在SEM-FIB共焦處）
7.放大倍數:150 tox
8.真空系統:槍體真空<5*10-6Pa
9.加速電壓0.5kV to 30kV
10.電子束電流2pA—40nA
11.樣品室內部直徑：300mm(寬)*330(深)
樣品室門：280mm(寬) x 310mm(高)
12.樣品臺行程:
X=130mm——馬達驅動(–50 mm to +80 mm)
Y=130mm——馬達驅動(–65 mm to +65 mm)
Z=100mm——馬達驅動
旋轉﹕360度連續——馬達驅動
傾斜﹕-30度—90度——馬達驅動
樣品高度：139mm
13.樣品臺承重可達10KG

國內一家使用中文操作界面的電鏡廠商
1.系統實現了電子束和離子束的共聚焦，有氣體注入系統;
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;傾斜電子束模式
3.的低真空二次電子探測器(LVSTD).
4.紅外線樣品室內攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品;
5.真空系統采用一臺機械泵和一臺分子泵，FIB電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內就可達到待測狀態;并且不需要使用冷卻水冷卻.
6.采用氣墊減震系統
7.先進的軟件系統,在數據儲存數據記錄數據打印等方面具有多種創新功能.
8.完善的自動功能，能幫助您更快更好的獲取圖片
9.9個以上外擴展接口.
10.可進行遠程控制