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紫外光刻機, 曝光機
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紫外光刻機, 曝光機

產品價格：
電議
產品型號：
pe700
供應商等級：
免企業未認證
經營模式：
貿易商
企業名稱：
哈爾濱特博科技有限公司
所屬地區：
黑龍江哈爾濱市
發布時間：
2013/11/9 16:21:02

0451-51752136      13613627346

李洪巖先生(聯系我時，請說明是在維庫儀器儀表網看到的，謝謝)

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哈爾濱特博科技有限公司

免企業未認證證營業執照已上傳

經營模式：貿易商

所在地：黑龍江 哈爾濱市

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產品名稱：經濟型臺式光刻機

產地：美國

 

名稱

能力

數值

基片臺

X, Y方向運動距離

+/-0.25”(+/-6.5mm)

Z方向運動距離

1500微米

測微計

0.001”; 0.0001”

刻度

0.01mm; 0.001mm

旋轉

+/-3.5°

光罩

尺寸

5”×5” ~ 9”×9”

光源

直徑

8”

對準1微米

曝光強度可控能力+/-2%

功率

200 ～

尺寸

高940mm；寬788mm；深635mm；重量250磅

 

產品名稱：高半自動光刻機

產地：美國

能力

數值

X, Y方向運動距離

+/-6.5mm

Z方向運動距離

+/-1250微米

運動增益

0.25微米，小可達0.1微米

X, Y方向側向偏離度

Z方向運動100微米偏離度小于0.1微米

Theta;

+/-3°；0.001°

卡盤找平

楔形補償平衡系統

光罩旋轉

+/-15°

光罩和基片間壓力

可以自行設置

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預對準能力

是

精對準能力

小于1微米

光罩尺寸

9”×9”

光刻能力：

0.6微米（近紫外）；0.4微米（中紫外）；0.25微米（深紫外）

適用樣品尺寸

50 ～ 200mm

 

產品名稱：高半自動光刻機

產地：美國

能力

數值

X, Y方向運動距離，

+/-6mm；
0.1微米

Z方向

+/-0.5微米

Theta;

+/-3°；0.001°

光罩旋轉

+/-15°

控制方式

軟件控制，多種工藝參數可自行設定

卡盤移動控制

電子桿

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預對準能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精對準能力

小于1微米

光罩尺寸

14”×14”

適用的樣品尺寸

50 ～ 300mm

光源選擇

近紫外，中紫外和深紫外

 

 

 

 

 

 

 

 

 

聯系方式

哈爾濱特博科技有限公司

聯系人：
李洪巖先生
手機：
13613627346
傳真：
0451-51752136
所在地：
黑龍江 哈爾濱市
類型：
貿易商
地址：
哈爾濱道里區河鼓街副3號

服務熱線

0451-51752136

QQ:1391291099　

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