一.配置

1. 測量主機

     樣品臺

     樣品觀察部

      X射線發(fā)生部

     信號檢測部

     電源供應(yīng)部

1. 主機控制部

       X-ray Station操作簡便的控制軟件

二.功能規(guī)格

1. 測量元素

金屬鍍層是從原子序數(shù)22Ti到83Bi，當(dāng)金屬元素低于21Al時，用吸收法測量。

2．測量方法

   薄膜標準曲線法：單層鍍層膜厚測量

                                     雙層鍍層膜厚測量

                                     合金鍍層膜厚測量

薄膜FP（基本參數(shù)）法：各種薄膜，5層，各層10種元素

選項

塊體檢量線法（電鍍液分析）

塊體FP法（材料組成分析）

1. 數(shù)據(jù)處理功能

搭載Ms-Word,Ms-EXECL (使用宏支持制作檢查成績書)測量能譜與樣品圖象保存功能

1. 標準曲線制作功能

    測量條件自動設(shè)定功能

    多點標準曲線

    標準曲線斜率表示功能

    底材修正功能

    以知樣品修正功能

    手動輸入修正功能

1. 可測量厚度范圍

原子序號22Ti——24Cr：0.2——20um    原子序號25Mn——40Zr：0.10——30um

原子序號41Nb——51Sb：0.2——70um    原子序號52Te——83Bi：0.05——10um 

           （可測量范圍因元素而不同） 

三.儀器規(guī)格

測量主機：

1)       儀器外部尺寸：670*850*675mm

2)       重量：120KG

3)       X射線發(fā)生部

X射線管：w靶材微焦距

管電壓：50KV

管電流：1mA可調(diào)

油箱：密封式空冷油箱

準直器：0.1mm，0.2mm（圓形）自動切換

濾波器：Al濾波器/OFF自動切換

4)       X射線檢測器：比例計數(shù)器

5)       樣品觀察機構(gòu)

樣品照明：LED燈，上方照射

亮度調(diào)節(jié)：軟件自動調(diào)節(jié)控制

觀察：彩色CCD攝像頭

放大倍率：30x

6）對焦方式：鐳射自動對焦功能利用鐳射焦點自動對焦

7）工作臺：260*210mm電動XY平臺