詢(xún)價(jià)
- 是否全新：全新
- 復(fù)精度：+0.2 % F.S.
- 響應(yīng)時(shí)間：s2 sec ≤10SLM
- 工作壓差：(14.5~72.5 psid)
- 工作環(huán)境： 5°C~45°C
- 電源：+15V 50 mA; -15V 200
氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)用于
對(duì)氣體的質(zhì)量流星進(jìn)行測(cè)量;質(zhì)量流量控制器
(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)氣體的
質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體微電
子工業(yè)、te種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)
藥、和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重
要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括;電子工藝設(shè)
備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺
射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微
反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜
儀及其它析儀器。
( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,
流量規(guī)格
300,500) CCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) LM
2
準(zhǔn)確度
士1 % F.. (20,30LM: +2
% F..)
+0.5 % F.. (20,30LM:
3
線性
+2 % F..J
4
復(fù)
+0.2 % F..
5
響應(yīng)時(shí)間
s2 sec
≤10LM: 0.1 ~ 0.5 MPa
6
工作壓差
(14.5~72.5 psid)
范
> 10LM: 0.1~ 0.3 MPa
(14.5~43.5 psid)
7
大工作
1 MPa
8
耐壓
3 MPa (435.1 psig)
9
工作環(huán)境
5°C~45°C
溫度
0V~+5.00V.
10
輸入輸出
(輸入阻抗大于100K,輸出電
號(hào)
流不大于3mA)
11
電源
+15V 50 mA; -15V 200
mA
12
外形尺寸
見(jiàn)圖4
13
重量
0.95 kg
注意:質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮
氣(N2)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為; CCM (準(zhǔn)升/);
LM (準(zhǔn)升/)
準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:溫度--- 273.15K (0°C );
氣壓- 101325 Pa (760mm
Hg)，單位CCM
和"ml /min, 0°C,1atm”等同，單位LM和"L/
min, 0°C,1atm"等同。
F.. (Full cale):滿量程值
氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B
