產(chǎn)品品牌：

美國(guó)AE(Advanced Energy)

產(chǎn)品型號(hào)：

FC-PA780/7800

Aera Transformer 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC）和質(zhì)量流量計(jì)（MFM）適用于多種不同的應(yīng)用，包括CVD、PVD、擴(kuò)散和刻蝕等等，將改變您的工藝，提供靈活性和效率，從而帶來(lái)更多的產(chǎn)量、更高的生產(chǎn)率，和更低的成本。先進(jìn)的傳感器和閥技術(shù)，經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用驗(yàn)證的平臺(tái)組件以及高速的數(shù)字線路帶來(lái)當(dāng)今精準(zhǔn)的氣體流量控制。憑借無(wú)與倫比的可靠性和出色的反應(yīng)、性和可重復(fù)性，這一系列的產(chǎn)品包括單氣體和多氣體、多量程的MFC以滿足您在數(shù)值和功能上的要求。

Advanced Energy 的Aera FC-PA780系列質(zhì)量流量控制器是更新、更低造價(jià)、更適于多種流量范圍、多種氣體的數(shù)字型MFC。它可應(yīng)用在CVD,PVD,ALD和蝕刻工藝中。該產(chǎn)品有新設(shè)計(jì)的測(cè)量裝置和閥門，其他原件與已使用證實(shí)的FC-D980,FC-7800相同。FC-PA780系列為設(shè)定值的1%，流量為滿量程的25%，零點(diǎn)漂移小于0.5%。新的測(cè)量裝置改進(jìn)了度，可靠性，和熱反應(yīng)性，而新的閥門與壓電型閥有同樣快的速度（小于1秒）。為便于在各種控制系統(tǒng)上工作，FC-PA780可進(jìn)行模擬和數(shù)字型控制，并與RS-485和DeviceNet兼容。數(shù)控性能包括自動(dòng)回零，報(bào)警，流量漸升，總流量統(tǒng)計(jì)，氣流監(jiān)控，和數(shù)據(jù)收集。作為一個(gè)選擇項(xiàng)，MFC的數(shù)字型 數(shù)據(jù)采集裝置可隨時(shí)連接使用。

優(yōu)點(diǎn)：

>出色的性能（性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性）

>無(wú)與倫比的可靠性

>全面的通信與控制

>易于整合

>簡(jiǎn)單，通用性

>大幅節(jié)約成本

>的服務(wù)和支持

特性

>多氣體、多量程選擇

>反應(yīng)迅速（小于1秒）

>全金屬密封和超純?cè)O(shè)計(jì)

>可現(xiàn)場(chǎng)編程

>無(wú)限氣體選擇，無(wú)需重新校準(zhǔn)

>DeviceNet、RS-485或0~5Vdc模擬控制

>多警報(bào)和診斷功能