- 企業(yè)類型：制造商
XL-80激光干涉儀系統主要規(guī)格
| 系統性能 | ||
| 線性測量 | ±0.5ppm | |
| 激光穩(wěn)頻 | ±0.05ppm | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 移動速度 | 4m/s | |
| 動態(tài)采集頻率 | 10Hz-50kHz | |
| 預熱時間 | <6分鐘 | |
| 環(huán)境溫度 | 0℃-40℃ | |
| 存儲溫度范圍 | -25℃-70℃ | |
| 環(huán)境傳感器 | ||
| | 范圍 | |
| 材料溫度 | 0℃-55℃ | ±0.1℃ |
| 空氣溫度 | 0℃-40℃ | ±0.2℃ |
| 空氣壓力 | 650-1150mbar | ±mbar |
| 相對濕度（%） | 0-95 | |