小管徑流量計MF5003氣體質(zhì)量流量計介紹：
 　 - 采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
 　 - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
 　 - 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計有極大的改善。
 　 - 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計重復(fù)性好，實現(xiàn)了計量準確可靠。
 　 - 技術(shù)進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。
 　 - 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。
 　 - 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高抗干擾能力。
 　 - 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡(luò)可實現(xiàn)集中管理。
 　 - 可以選配4～20mA標準電流信號輸出。

小管徑流量計MF5003氣體質(zhì)量流量計

 型號 通徑
（mm） 接口
（inch） L H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
小管徑流量計MF5003氣體質(zhì)量流量計參數(shù)：
度           ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍        0.01~65m/sec 
測量管徑        1~19 mm    
使用環(huán)境         溫度: -20~65
顯  示             瞬時流量; 累計流量                  
輸出模式        4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準條件        20oC; 101.325 kPa.
小管徑流量計MF5003氣體質(zhì)量流量計選型：
型號 通徑
(mm) 接口
(inch) 工作壓力
(MPa) 測量范圍
    sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 1.5 15-1500 0.15-15   
MF5006 6 1/4" 1.5   0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 1.5   1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 1.5   3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 1.5   8-800 0.28-28 0.48-48