自動(dòng)對(duì)焦，測(cè)量性；自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高，可加配接觸式測(cè)針。技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 |
| 行程(mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸(mm) | 1040X740X1620 | 1040X740X1620 | 1240X800X1620 | 1440X1000X1620 |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 測(cè)量 | XY軸 | (2.5+L/200)µm | ||
| Z軸 | (5+L/200)µm | |||
| CCD | 像素彩色CCD | |||
| 光學(xué)系統(tǒng) | NITAR鏡頭，光學(xué)放大倍率：0.5x - 4x，總放大倍率：36x - 288x | |||
| 光源 | 輪廓光 | LED方形光源，亮度可調(diào) | ||
| 表面光 | 多角度LED環(huán)形光源，亮度可調(diào) | |||
| 光柵尺分辨率 | 0．5µm | |||
| 運(yùn)動(dòng)控制 | 多軸高運(yùn)動(dòng)控制卡 | |||
| 軟件 | microscopeium | |||
| 電源 | 220V/50Hz | |||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃&plun;2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度40～80% | |||
| 振動(dòng)<0.002g，低于15Hz |
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