本系列平臺(tái)是在HGPT-B型光學(xué)隔振平臺(tái)的基礎(chǔ)上增加自動(dòng)平衡功能,采用空氣伺服系統(tǒng),自動(dòng)調(diào)整水平,臺(tái)面的高度由空氣調(diào)節(jié)閥在桌面運(yùn)動(dòng)的激勵(lì)下維持和控制,把系統(tǒng)對(duì)微振的響應(yīng)反饋到系統(tǒng)中,改變隔振特性,當(dāng)負(fù)載沿工作表面移動(dòng)或發(fā)生突然變化時(shí)能夠使臺(tái)面自動(dòng)維持水平。初始的平衡狀態(tài),光學(xué)隔振平臺(tái)的隔振效果
主要參數(shù):
平面不大于0.05mm/m2
表面粗糙度小于0.8um
固有頻率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
振幅不大于1.2um
重復(fù)定位±0.05mm








