| ● X、Y、Z軸0.5μm分辨率； ● 可選配白光納米檢測模組； ● Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕； ● 同軸表面光/底光測量； ● 內(nèi)建偏光量測光學(xué)模塊； ● 可量測透明材質(zhì)納米級高度差 | ||||
| 規(guī)格型號 | MTM-1510M | MTM-2010M | ||
| 工作行程X、Y、Z軸 | 150*100*120（mm） | 200*100*120（mm） | ||
| 金屬臺尺寸 | 210*160（mm） | 260*160（mm） | ||
| 玻璃臺尺寸 | 354*228（mm） | 404*228（mm） | ||
| 光學(xué)尺分辨率 | 0.5μm | |||
| 示值誤差 | X、Y坐標≤（3+L/75）μm （L為測量長度，單位mm） | |||
| 影像系統(tǒng) | 彩色1/2"CCD攝像機；640*480像素；結(jié)合測量軟件 | |||
| 顯微鏡系統(tǒng) | 目鏡：10倍 | |||
| 濾光片：紅，藍，綠，白 | ||||
| 測量模式：反射，，偏光 | ||||
| 5孔物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||||
| 物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≤0.008% | |||
| 總放大倍數(shù) | 50X——500X | |||
| 照明系統(tǒng) | 照明光源：白光LED，亮度可調(diào) | |||
| 同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調(diào) | ||||
| 物鏡 | ||||
| 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
| 工作距離（mm） | 26.1 | 20.2 | 8.8 | 3.68 |
| 高度量測模塊（選配件） | 光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配） | |||
| 倍率：10X，工作距離5mm，光學(xué)分辨力2μm | ||||
| 其它參數(shù) | ||||
| 外形尺寸（mm） | 590*560*850 | |||
| 儀器重量（kg） | 100 | 110 | ||
| 電源功耗 | 110V—220V 50/60Hz <60W | |||
| 單層透明膜厚度測量模式 | ||||
| 高測量模式 | 快速測量模式 | |||
| 厚度測量范圍 | 100nm-300nm | 300nm-500nm | 500nm-3μm | 3μm-20μm |
| 分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
