雙電測四探針測試儀 型號:TZ24-RTS-9

RT-9 型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術,將范德堡測

量方法推廣應用到直線四探針,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制進行兩次電測量，把

到的在計算機中加與析，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等

因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面的位置。由于

每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量

結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規四探針測量方法所的儀器是無法實現的。

儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能直觀、測量取數快、高、測量范寬、

穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

RT-9 型雙電測四探針軟件測試系統 是一個運行在計算機擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計算機與 RT-9 型四探針測試儀連接的狀態，通過計算機的并口實現通訊。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時兩次組合模式的測試，把到的在計

算機中加以析，然后把測試以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對到的在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把到的輸出到 Excel 中，讓用戶對進行各種

析。

是一個運行在計算機擁有友好測試界面的用戶程序。測

試程序在計算機與 RT-9 型四探針測試儀連接的狀態，通過計算機的并口實現通訊。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時兩次組合模式的測試，把到的在計

算機中加以析，然后把測試以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對到的在電腦

中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把到的輸出到 Excel 中，讓用戶對進行各種

析。

技 術 指  ：

測量范

電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴展) ；

方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴展) ；

電導率：10 -5 ～10 5 s/cm ；

電阻：10 -5 ～10 5 ? ；

可測晶片厚度 ≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配 配 -2A 型測試臺) ；

200mmX200mm(配 配 -2B 型測試臺) ；

400mmX500mm(配 配 -2C 型測試臺) ；

恒流源

電流量程為 1μA 、10μA 、100μA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流

連續可調

數字電壓表

量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；辨力：10μV ；輸入阻抗＞1000M? ；

：±0.1% ；顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、量程自動顯示；

四探針基本指

間距：1±0.01mm ；針間緣電阻：≥1000M? ； 機械游移率：≤0.3 ％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 總力) ；

模擬電阻測量相對誤差

( 按 按 JJG508-87 進行)

0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字

差 整機測量大相對誤差 ( 用硅樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4 ％

度 整機測量準不確定度 ≤4 ％

測試準

采用雙電測測試準，通過 RT-9 雙電測測試軟件控制四探針測試儀進行測

量并實時兩次組合模式的電壓值，然后根據雙電測測試原理公式計算

出電阻值。儀器主機也可兼容 RT-8 四探針測試軟件實現單電測測試準，

兩軟件可同時使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試，并統計析測試大值、

小值、平均值、大百變化、平均百變化、徑向不均勻度、并將

生成直方圖，也可把測試輸出到 Excel 中，對進行各種析。軟

件還可自動測量功能，根據樣品電阻大小自動適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口 并口，高速并行。

準使用環境

溫度：23±2 ℃；

相對濕度：≤65 ％；

無高頻干擾；

無強光直射；

雙電測四探針測試儀 型號:TZ24-RTS-9雙電測四探針測試儀 型號:TZ24-RTS-9