MDC-360C膜厚控制儀（該產品已停產，SQC310是它的替代型號，我們長期提供MDC-360C的維修）
MDC-360C膜厚控制儀利用閉環控制對單層或多層薄膜蒸鍍過程進行準確的控制。通過的數字信號程控提供蒸鍍膜層特性的預測和可重復性，可用于批量生產或實驗室研發。該設備具有大的自我檢測系統在自動運行模式過程中，即使在感應器晶片失效情況下仍可在無需人工操作情況下完成預設鍍膜程序，國產鍍膜機標準配置。
大：可同時對單探頭、雙探頭或多探頭連接和控制。可以儲存多達99種工藝過程，999種定義膜層和32種定義的材料。
使用靈活：有更多的材料及系統參量進行控制，包括多段速率爬升、可編程離散輸入/輸出及2.5～10MHz的感應晶片。
充分的軟件支持：Maxtek的DCM軟件充分支持MDC-360膜厚控制儀。它可以簡化啟動過程、調試過程及微調等復雜過程。它還可以實現工藝過程、系統和運轉狀態數據的完整存檔。
操作簡便：可操作的菜單控制界面。具有內置預存儲材料庫、命名的工藝過程和膜材搭配。
主要測量特性：
頻率分辨率：在6.0 MHz時0.03 Hz
質量分辨率：0.375 ng／cm2
感應晶片頻率：2.5，3，5，6，9.5，10 MHz
膜厚顯示：0.000～999.9 K＆Aring；
成膜速率：00.0～999 Ang／sec（0～9.99μm／min）
膜層數量：1～999
圖形顯示：256×64 LCD，CCFL背景照明
MDC-360C膜厚控制儀利用閉環控制對單層或多層薄膜蒸鍍過程進行準確的控制。通過的數字信號程控提供蒸鍍膜層特性的預測和可重復性，可用于批量生產或實驗室研發。該設備具有大的自我檢測系統在自動運行模式過程中，即使在感應器晶片失效情況下仍可在無需人工操作情況下完成預設鍍膜程序，國產鍍膜機標準配置。
大：可同時對單探頭、雙探頭或多探頭連接和控制。可以儲存多達99種工藝過程，999種定義膜層和32種定義的材料。
使用靈活：有更多的材料及系統參量進行控制，包括多段速率爬升、可編程離散輸入/輸出及2.5～10MHz的感應晶片。
充分的軟件支持：Maxtek的DCM軟件充分支持MDC-360膜厚控制儀。它可以簡化啟動過程、調試過程及微調等復雜過程。它還可以實現工藝過程、系統和運轉狀態數據的完整存檔。
操作簡便：可操作的菜單控制界面。具有內置預存儲材料庫、命名的工藝過程和膜材搭配。
主要測量特性：
頻率分辨率：在6.0 MHz時0.03 Hz
質量分辨率：0.375 ng／cm2
感應晶片頻率：2.5，3，5，6，9.5，10 MHz
膜厚顯示：0.000～999.9 K＆Aring；
成膜速率：00.0～999 Ang／sec（0～9.99μm／min）
膜層數量：1～999
圖形顯示：256×64 LCD，CCFL背景照明
其他說明
| 測量特性 | |
| 頻率分辨率 | 在6.0 MHz時0.03 Hz |
| 質量分辨率 | 0.375 Ng/cm 2 |
| 厚度分辨率 | 0.5% + 1 count |
| 測量更新率 | 動態調整, .5 到10 Hz |
| 顯示更新率 | 10 Hz |
| 感應晶片頻率 | 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz |
| 顯示 (MDC-360C) | |
| 膜厚顯示 | 0.000~999.9 KAng |
| 成膜速率 | 00.0~999 Ang/sec |
| 功率顯示 | 00.0~99.9% |
| 時間 |
0:00:00~9:59:59 H:MM:SS |
| 晶片壽命 % | 00%~99% |
| 膜層數量 | 001~999 |
| 圖形顯示 | 256*64 LCD,CCFL背景照明 |
| 通訊 | |
|
標準RS-232串行端口 備選RS-485串行端口 備選IEEE-488端口 |
|
| 程序編制 | |
| 程序設計和配置都可以通過LCD顯示屏表現出來.編程可分為三部分:過程,材料和系統.編輯,觀察和運轉過程可以加密.默認值無加密. | |
| 過程編制 | |
| MDC-360可存儲99種用戶定義的工藝過程.一個工藝過程是指一個連續的定義膜層的列表.膜層由兩個因素決定:材料和厚度.MDC-360可存儲多達999種膜層. | |
| 過程的參量 | |
| 過程名稱 | 12字 |
| 編輯 | 4字 |
| 運行 / 觀察 | 4字 |
| 膜層 # 1 到 999 | 材料名稱,厚度 |
| 材料編制 | |
| MDC-360可存儲32種用戶定義的材料.材料由以下所列參量決定. | |
| 材料的參量 | |
| 材料名稱 | 10字 |
| 材料 | 4字 |
| 探頭 # | 1 到4 |
| 晶片 # | 1 到8 |
| 源 # | 1 到4 |
| 坩堝 # | 1 到8 |
| 密度 | 0.80 到99.99 gm/cm 3 |
| 聲阻 | 4.00 到59.99 gm/cm 2 sec |
| 修正系數 | 10.0 到499.9% |
| 比例增益 | 1 到9999 |
| 積分時間 | 0 到99.9 秒 |
| 微分時間 | 0 到99.0秒 |
| 上升保持時間 | 0 到9:59:59 |
| 保持功率 | 0 到99.9% |
| 保持時間 | 0 到9:59:59 |
| 上升至預鍍時間 | 0 到9:59:59 |
| 預鍍功率 | 0.0 到99.9% |
| 預鍍時間 | 0 到9:59:59 |
| 速率確定時間 | 0 到99秒 |
| 速率確定誤差 | 0 到99.9% |
| 蒸鍍速率 | 000.0 到999.9Å/sec |
| 速率攀升 / 下降開始 | 0.000 到999.9 K Å |
| 速率攀升 / 下降停止 | 0.000 到999.9 K Å |
| 時間設定 | 0 到9:59:59 |
| 攀升 / 下降伺服時間 | 0 到9:59:59 |
| 伺服功率 | 0 到99.9% |
| 伺服時間 | 0 到9:59:59 |
| 下降至停頓時間 | 0 到9:59:59 |
| 停頓功率 | 0 到99.9% |
| 功率 | 0 到99.9% |
| 功率報警延遲 | 0 到99 sec |
| 小功率 | 0 到99.9% |
| 速率偏離關注 | 0 到99.9% |
| 速率偏離報警 | 0 到99.9% |
| 速率偏離中止 | 0 到99.9% |
| 采樣駐留 | 0 到100% |
| 采樣時段 | 0 到9:59:59 |
| 晶片失效 | 轉換,停止或計時停止 |
| 備用探頭 # | 1 到4 |
| 備用修正系數 | 10 到499.9% |
| 備用晶片 # | 1 到8 |
| 輸入 / 輸出范圍 | |
| 標準 | |
| 晶片輸入 | 2 路標準,2路可選擇的BNC輸入 |
| 源輸出 | 全緣2路標準輸出,2路可選擇輸出.2.5,5,10V,20mA,分辨率0.002% |
| * 無源輸入 |
8路可編程, 地電位真4.7 kΩ到5 VDC |
| * 有源輸入 |
8路可編程, 50 - 60 Hz 時10.5 - 130 VAC 或10.5 VDC |
| * 輸入類型選擇 | |
| 繼電器離散輸出 |
8路可編程SPST繼電器, 120 VA, 電流2A |
| 中止繼電器輸出 | SPST繼電器, 120 VA, 電流2A |
| 通訊接口, RS-232 |
后面板, 9針AT, 全雙工通信制 前面板, RJ-11-6 POS插孔, 全雙工通信制 |
| 遙控器 | 前面板, RS-11-4 POS插孔 |
| 廠方安裝備選項 | |
| RS-485通訊接口.后面板上的RS-232可由RS-485代替. | |
| 用戶安裝備選項 | |
|
源/探頭接口面板可接到4個源和探頭.源/探頭接口面板可使輸入/輸出至16路. IEEE-488通訊面板 |
|
| 輸入設置 | |
| 每一路輸入均可由初始的特定條件設定初始狀態和數值.由源和探頭位置決定的信息反饋也已預先確定. | |
| 輸出設定 | |
| 每一路輸出均可設定根據特定的條件輸出的方式.由源和探頭的轉換決定的信息反饋也已預先確定. | |
| 傳感器設定 | |
| 每一個傳感器可設定為控制一個單探頭,雙探頭或多探頭.由以下參數決定. | |
| 傳感器參數 | |
| 晶片個數 | 1 到8 |
| 擋板繼電器類型 | 雙刀,常開,常閉,或沒有 |
| 控制方式 | 手動,指令, BCD,或單獨控制 |
| 反饋形式 | 單獨, BCD,定點或無反饋 |
| 轉子延遲 | 0-99秒 |
| 蒸發源設定 | |
| 每個蒸發源可可以通過手動或自動轉換的方式設定為控制一個單坩堝或多坩堝源. | |
| 蒸發源參量 | |
| 坩堝數量 | 1 到8 |
| 擋板繼電器類型 | 常開,常閉或沒有 |
| 擋板延遲 | 0 - 9.9 秒 |
| 控制方式 | 手動,指令, BCD,或單獨控制 |
| 反饋形式 | 單獨, BCD,定點或無反饋 |
| 轉子延遲 | 0-99秒 |
| 源電壓 | 2.5, 5, 10 V |
| 數模轉換記錄設定 | |
| MDC-360有兩路模擬,圖表記錄器輸出.記錄器輸出由以下參量決定. | |
| 記錄器參量 | |
| #1 / #2 記錄器輸出 | 速率,速率偏離,功率或膜厚 |
| #1 / #2記錄器量程 | 全量程 |
| 記錄器規格 | |
| 輸出 | 0 到5V |
| 分辨率 | 0.02% |
| 應用設置 | |
| 應用設置菜單包含一些其他地方沒有的一些參數設定,這些參數為: | |
| 晶片頻率 | 2.5, 3, 5, 6, 9, 10 MHz |
| 模擬模式 | 開/關 |
| IEEE-488/RS-485 地址 | 1 到32 |
| 提示音量 | 0 到10 |
| 警示音量 | 0 到10 |
| 報警音量 | 0 到10 |
| 時間 | 0 到23:59 - 備選 |
| 日期 | 月/日/年- 備選 |
