隔振臺是一個隔振的工作面,通過的薄膜空氣彈簧對周圍的環境的振動進行隔離。水平控制器(機械氣動閥)可以將水平保持在正/-1/100MM。
即使承載的載荷的變化的,也可以將水平自動保持在+/-1/10MM.空氣調節裝置還包括了聚水器和空氣濾清器。
客戶定制:
根據客戶要求,可以提供尺寸,以及低固有頻率(垂直方向1.5HZ.0.8HZ)
系統特性:
- 垂直固有頻率:大約2.5HZ.1.5HZ
- 水平固有頻率:大約2.5HZ.2.5HZ
- 可調解,可滾動
- 剛性,焊接鋼框假,帶集成在臺腳中的BIAIR氣動彈簧
- 機械氣動控制器(水平+/-1/10MM和氣動裝置)
- 表面板:花崗巖
應用范圍:
光學和光電工作站以及小型和高臺面頂部測量儀器,例如:圓形測量儀,齒輪測量裝備,表面測量機等。
主動隔振系統AIS應用領域:
隔振性能,用于存在高動態力,進行靈敏度測量和檢驗的設備,如平版印刷設備,激光設備,高分辨率電子顯微鏡,以及半導體設備。
AIS具有兩個主要優勢:
一個優勢是保護精密設備免受地面振動的影響;另一個優勢是通過降低設備內部運動部件加速和減速時產生的高動態力造成的結構性振動現象來設備的使用。并且,通過降低沉降時間,從而減少設備在可以進行敏感運行前的,工作效率。









