表面沉降粒子檢測儀APMON
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APMON表面沉降粒子檢測儀的工作原理
檢測設備采用面積的內置玻璃板承載墜落顆粒，玻璃板以45度角放置，這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過程就會被檢測到，APMON檢測儀對大于20μm的沉積顆粒的數量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進行測量，通過測量得出平均顆粒沉積率。
測量的數據能夠幫助解決潔凈室常規手段監控不到的污染成分，并能幫助優化用戶的生產流程。
當產品突發性不良率上升時，先會懷疑潔凈室的空氣潔凈度，使用塵埃粒子計數器進行檢測是常規作法。如果測量結果正常，就要進行更進一步的調查。
通過對表面潔凈度和粒子沉降的測量顯示很多顆粒的尺寸大于50μm或100μm，而這些大尺寸顆粒的來源通常是操作者和潔凈室不潔凈的表面，一般尺寸大于25μm的墜落顆粒是不能通過潔凈室空氣循環系統排出的。
沉降粒子的來源：人員產生粒子、攜帶高濃度粒子、散發粒子；設備和物料產塵或表面存在粒子；潔凈室材料表面存在粒子等，通過個人行為、更衣流程、培訓、清潔生產加工設備、清潔工具和潔凈室，可明顯降低不良品率。
APMON表面沉降粒子監測儀主要包括以下部分：
設備主體 傳感器
玻璃板托盤
APMON表面沉降粒子檢測儀的工作原理：檢測設備采用面積的內置玻璃板承載墜落顆粒，玻璃板以45度角放置，這樣墜落的顆粒在玻璃板上沉積的過程就會被檢測到，APMON檢測儀對大于20μm的沉積顆粒的數量和尺寸以及在傳感器上的分布位置進行測量，通過測量得出平均顆粒沉積率。
測量的數據能夠幫助解決潔凈室常規手段監控不到的污染成分，并能幫助優化用戶的生產流程。
APMON表面沉降粒子檢測儀的工作原理 主要技術參數如下
參數 型號 | APMON |
可檢測粒子范圍 | 20μm～1000μm |
測量表面 | 25cm2 |
PDR(顆粒沉降率) | 99%置信區間±6% |
儲存數據 | 10000組 |
設備連接傳感器的數量 | 以太網連接 6個 藍牙連接 2個 |
