伯東德國 Pfeiffer 渦輪分子泵應用于激光分子束外延系統
上海伯東客戶某真空設備商采購 Pfeiffer 渦輪分子泵用于激光分子束外延系統。
激光分子束外延(Lazer E)是一種晶體生長技術，將半導體襯底放置在真空腔體中，和將需要生長的單晶物質按元素的不同分別放在爐中，由分別加熱到相應溫度的各元素出的分子流能在襯底上生長出薄的，可薄至單原子層水平，單晶體和幾種物質交替的晶格結構。
分子束外延主要研究的是不同結構或不同材料的晶體和晶格的生長。該方法生長溫度低，能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。
分子束外延系統對真空度要求及其高，對真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質氣體和水蒸氣比較敏感，本系統采用伯東德國 Pfeiffer 分子泵對真空腔體進行抽真空，真空及真空的穩定性，對晶格的生長起到很好的作用。
客戶：上海某設備商 Lazer E 真空系統
系統運行條件：
1. 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長。
2. 真空生長室，直徑12英寸。
3. 額定基壓：<1x10-6 Torr
4. 配有12個加熱泄流源.
5. 襯底加熱器加熱溫度950℃
6. 可放置6個1"的靶及3個2"的靶
7. 質量流量計控制進入真空腔的流量，量程 100sccm.
8. 線型進樣室實現全自動送片
激光分子束外延伯東 Pfeiffer 分子泵配置:
1.分子泵 Hipace 400 *1
2.隔膜泵 MVP 020 *1
3.分子泵 Hipace 80 *1
4.隔膜泵 MVP 015-2 *1
5.全量程真空計(PKR 251+TPG 261)*1
上海伯東主營產品：德國普發 Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應用于各種真空環境下的真空計，氦質譜檢漏儀，質譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機，離子刻蝕機等。
上海伯東版權，翻拷究！
