的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開發(fā)而來，采用了VMM 公司的設(shè)計(jì)和技術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項(xiàng)，使設(shè)備更加通用，耐用以及。

• 擴(kuò)展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm

• 照明 

• 完整電子繪圖 – 合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)

• 合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 合

• 全自動(dòng)顯微鏡，設(shè)置計(jì)算機(jī)控制

• 分辨率像素?cái)z像頭

• VIEW Metrology Software (VMS?) 可測(cè)組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。

• MMWin – 晶圓片 和Mask計(jì)量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

• 
  

•                                       標(biāo)準(zhǔn)                        可選

•   X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5              200 x 200 x 100 

•   載重:                 12 kg

•   XY:                    E1=(0.25+2L/1000)um

•   Z :                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

•   分辨率：                    0.01 微米

•   視場(chǎng)測(cè)量和重復(fù)性：0.01 μm (100x)

•   直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
  
  
  

主要用于以下應(yīng)用：
- 亞微米測(cè)量：
   ◆   微器件和電子元器件封裝、引線框
   ◆   微型球狀引腳柵格陣列封裝
   ◆   硬盤驅(qū)動(dòng)臂、探針卡、刀片
- CD 和套刻測(cè)量：
   ◆  線寬、涂覆層
   ◆   MEMS 器件、接觸窗、噴墨打印頭
   ◆   硬盤驅(qū)動(dòng)頭、磁頭等