全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):GVC-2000 庫(kù)號(hào)：D374697

全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):GVC-2000 庫(kù)號(hào)：D374697

要參數(shù)

輸入電壓 AC220V±10%，50Hz

工作電壓 DC600V

大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W

可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬

真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s

真空腔 約φ125×125mm

樣品杯 φ64×1

整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）

重量（主機(jī)） 11 kg

工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%

存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%

工作氣體 Air / Ar

保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)

要參數(shù)

輸入電壓 AC220V±10%，50Hz

工作電壓 DC600V

大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W

可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬

真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s

真空腔 約φ125×125mm

樣品杯 φ64×1

整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）

重量（主機(jī)） 11 kg

工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%

存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%

工作氣體 Air / Ar

保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)

全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):M31/GVC-2000全自動(dòng)磁控離子濺射儀 型號(hào):M31/GVC-2000

要參數(shù)

輸入電壓 AC220V±10%，50Hz

工作電壓 DC600V

大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W

可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬

真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s

真空腔 約φ125×125mm

樣品杯 φ64×1

整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）

重量（主機(jī)） 11 kg

工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%

存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%

工作氣體 Air / Ar

保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)

要參數(shù)

輸入電壓 AC220V±10%，50Hz

工作電壓 DC600V

大功率（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W

可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬

真空泵 兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s

真空腔 約φ125×125mm

樣品杯 φ64×1

整機(jī)尺寸（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）

重量（主機(jī)） 11 kg

工作環(huán)境 溫度 5～40℃，濕度<60%

存儲(chǔ)環(huán)境 溫度-10~60℃，濕度<80%

工作氣體 Air / Ar

保護(hù)功能 過(guò)流、真空雙保護(hù)