Zeta3DTM測(cè)量系統(tǒng)

ZETA-300

基于ZDotTM點(diǎn)陣技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀

Zeta的ZDotTM點(diǎn)陣技術(shù)是測(cè)量各種復(fù)雜表面形貌的理想選擇，包括透明的多層結(jié)構(gòu)、低反射率、低對(duì)比度、高粗糙度或高度落差很大的表面結(jié)構(gòu)，除此之外，ZDot在測(cè)量高縱橫比的孔和溝時(shí)更是有著的效果。ZDotTM點(diǎn)陣技術(shù)提供了可能的光路設(shè)計(jì)，其Z向的光學(xué)測(cè)量是白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡所不能的。強(qiáng)大卓越的測(cè)量能力加之內(nèi)置集成的震設(shè)施以及精簡(jiǎn)美觀的機(jī)械結(jié)構(gòu)使得Zeta-300成為了研究及生產(chǎn)相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的解決方案。

多功能光學(xué)測(cè)量模組

Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測(cè)試技術(shù)，滿足用戶各種應(yīng)用領(lǐng)域的測(cè)試需求：  

ZDotTM  Z點(diǎn)陣三維成像技術(shù)，是Zeta系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)，該技術(shù)結(jié)合背光和暗場(chǎng)照明以及各種規(guī)格的光學(xué)物鏡，使Zeta3D光學(xué)輪廓儀可以分析測(cè)量為“困難”的表面結(jié)構(gòu)。

ZIC 干涉反襯成像技術(shù)，可對(duì)納米級(jí)粗糙度表面成像及測(cè)量。

ZSI  白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡可實(shí)現(xiàn)Z向埃級(jí)分辨率的測(cè)量能力。

ZX5 ，ZX100白光干涉技術(shù)，Z方向納米級(jí)分辨率的同時(shí)，提供大視野范圍內(nèi)的測(cè)量和統(tǒng)計(jì)分析。

ZFT  膜厚測(cè)試技術(shù)，集成光譜儀，通過擬合反射光譜測(cè)量薄膜厚度

應(yīng)用領(lǐng)域

Zeta-300 測(cè)試系統(tǒng)支持多功能測(cè)試選項(xiàng)，根據(jù)客戶實(shí)際需求可配備不同的光學(xué)模組、載臺(tái)、樣品臺(tái)、照明系統(tǒng)及分析軟件。高和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)理想的選擇。如下為實(shí)際應(yīng)用舉例：
LED, PSS & 缺陷監(jiān)控

PSS 的尺寸、高度和周期

PR和AlN的厚度

AOI缺陷測(cè)試及分類

2寸、 4寸和6寸兼容吸真空載臺(tái)
微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析

透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析

高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑結(jié)構(gòu)等
可編程測(cè)試菜單及自動(dòng)化掃描
靈活的硬件功能選項(xiàng)

暗場(chǎng)或背光照明系統(tǒng)

 金剛石劃線標(biāo)記系統(tǒng)

6物鏡自動(dòng)切換裝置

金剛線測(cè)量裝置

晶圓或光盤倒角測(cè)量裝置

長工作距離物鏡，折射率校正或浸沒式物鏡

……更多選項(xiàng)

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品尺寸(mm)                                               

系統(tǒng) (長X寬X高)：813 x 940 x 1550 電壓: 100 - 230 VAC

顯示器：559 x 127 x 407    電流: 4A

總重量：360lbs/164 kg     工作溫度: 18-30oC，非冷凝，                                                ±1oC 每小時(shí)

性能配置

3D 成像:                     ~ 1 秒/點(diǎn) (ZIC)
                                       ~ 10 秒/點(diǎn) (ZSI)
                                       ~ 30 秒/點(diǎn) (ZDot)

像素分辨率:             0.09 μm (0.5x耦合鏡 + 100x物鏡)

小Z軸步距:          2 nm (壓電陶瓷傳動(dòng))
                                      13 nm (精密絲杠傳動(dòng))

Z軸分辨率：            0.1? (ZSI)

                                      13 nm (ZDot)

重復(fù)性3：               ±15 nm (1σ)3  （或±1%）

系統(tǒng)配置

相機(jī)選項(xiàng)：            640x480, 1024x768, 1280x960

                                  1920x1440

總放大率：           35,000x (光學(xué)和數(shù)字放大)

系統(tǒng)光源：           2個(gè)大功率白光LED

自動(dòng)載臺(tái)：          200mm x 200mm (XY 方向)

Z軸測(cè)試范圍：    40mm標(biāo)配（100mm可選）