Zeta3DTM測量系統
ZETA-300
基于ZDotTM點陣技術的3D光學輪廓儀
Zeta的ZDotTM點陣技術是測量各種復雜表面形貌的理想選擇，包括透明的多層結構、低反射率、低對比度、高粗糙度或高度落差很大的表面結構，除此之外，ZDot在測量高縱橫比的孔和溝時更是有著的效果。ZDotTM點陣技術提供了可能的光路設計，其Z向的光學測量是白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡所不能的。強大卓越的測量能力加之內置集成的震設施以及精簡美觀的機械結構使得Zeta-300成為了研究及生產相關應用領域的解決方案。
多功能光學測量模組
Zeta-300測試系統提供多種光學測試技術，滿足用戶各種應用領域的測試需求：
ZDotTM Z點陣三維成像技術，是Zeta系列產品的標配技術，該技術結合背光和暗場照明以及各種規格的光學物鏡，使Zeta3D光學輪廓儀可以分析測量為“困難”的表面結構。
ZIC 干涉反襯成像技術，可對納米級粗糙度表面成像及測量。
ZSI 白光差分干涉技術，搭配任意物鏡可實現Z向埃級分辨率的測量能力。
ZX5 ，ZX100白光干涉技術，Z方向納米級分辨率的同時，提供大視野范圍內的測量和統計分析。
ZFT 膜厚測試技術，集成光譜儀，通過擬合反射光譜測量薄膜厚度
應用領域
Zeta-300 測試系統支持多功能測試選項，根據客戶實際需求可配備不同的光學模組、載臺、樣品臺、照明系統及分析軟件。高和高重復性的設備性能是科研和工業生產理想的選擇。如下為實際應用舉例：
LED, PSS & 缺陷監控
PSS 的尺寸、高度和周期
PR和AlN的厚度
AOI缺陷測試及分類
2寸、 4寸和6寸兼容吸真空載臺
微流體和MEMS器件結構分析
透明或半透明的多層結構分析
高縱橫比結構分析，如深溝壑結構等
可編程測試菜單及自動化掃描
靈活的硬件功能選項
暗場或背光照明系統
金剛石劃線標記系統
6物鏡自動切換裝置
金剛線測量裝置
晶圓或光盤倒角測量裝置
長工作距離物鏡，折射率校正或浸沒式物鏡
……更多選項
技術規格
產品尺寸(mm)
系統 (長X寬X高)：813 x 940 x 1550 電壓: 100 - 230 VAC
顯示器：559 x 127 x 407 電流: 4A
總重量：360lbs/164 kg 工作溫度: 18-30oC，非冷凝， ±1oC 每小時
光學參數 | |||||
5x | 10x | 20x | 50x | 100x | |
N.A. | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
FOV(μm)1 | 1894x1420 | 944x708 | 468x351 | 189x142 | 93x70 |
FOV(μm)2 | 4697x3522 | 2327x1745 | 1169x877 | 466x349 | 234x175 |
性能配置
3D 成像: ~ 1 秒/點 (ZIC)
~ 10 秒/點 (ZSI)
~ 30 秒/點 (ZDot)
像素分辨率: 0.09 μm (0.5x耦合鏡 + 100x物鏡)
小Z軸步距: 2 nm (壓電陶瓷傳動)
13 nm (精密絲杠傳動)
Z軸分辨率： 0.1? (ZSI)
13 nm (ZDot)
重復性3： ±15 nm (1σ)3 （或±1%）
系統配置
相機選項： 640x480, 1024x768, 1280x960
1920x1440
總放大率： 35,000x (光學和數字放大)
系統光源： 2個大功率白光LED
自動載臺： 200mm x 200mm (XY 方向)
Z軸測試范圍： 40mm標配（100mm可選）
