詢價
- 是否安全：安全
- 是否全新：全新
- 是否封裝：紙箱
- 是否質保：質保
- 類型：10SCCM-10SLM
產品特點
安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合使用。
流量規格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規格1:（N2)產品特點
本產品具有穩定、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合使用。
流量規格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
調節閥類型：常閉型
量程比：2-FS或者50:1
流量分辨率：0.1%FS
準度：1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
線性：0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重復精度：0.2%FS
相應時間：小于2S
工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐壓：3MPA
工作環境：5-45度
電纜接頭：DB15pin(形）
輸入輸出信號：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA）
供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
對外單點泄漏
≤1X10 9Pa. m2/S (He)
介質接觸材質
316，316L， 密封填料
密封材料
橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ,
氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
VCR型接頭: 1/4"
管道接頭尺寸
雙卡套型接頭: 1/8”、1/4"、3/8”或φ3、中6、φ8、φ10 mm
外形尺寸
長X寬X高: 127X30X 100 mm
凈重量
0.88kg氣體質量流量控制器氣體質量流量控制器氣體質量流量控制器氣體質量流量控制器
