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INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電真空計 BAG402，測量范圍從
5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2
Torr）。 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可
重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。雙絲極結構提供YOU異的
精度、長期穩定性 和長使用壽命。
n 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
n 的可重復性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%
n 過壓檢測保護，防止燈絲燒毀
n 兩根長壽命氧化銥燈絲
n 發射電流，降低控制的繁瑣
n 校準數據的傳感器元件可保規管的高性，并且易于換
n 符合RoHS
訂購信息
類型 BAG402BAG402 DSUB9 CF40 353-601BAG402 DSUB9 KF25 353-600
規格
類型 BAG402
測量范圍 (空氣, 氧?, ,
氮?)
mbar 5×10?1? … 2.7×10?2
測量范圍 (空氣, 氧?, ,
氮?)
Torr
3.75×10?1? 5×10?2
精度
10?? … 10?2 毫巴 % of reading ±15
重復性
10?? … 10?2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10?? mbar electron bombardment, max. 3 min
壓強, 大 bar (absolute) 2
溫度
操作 (環境) °C 0 … +50
儲存 °C -20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-
S電子單元
°C 80
供電電壓 V (dc) +20 … +28
供電電壓 A (dc) ≤0.8
輸出信號模擬 (4)
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 log / lin V 0 … +9
錯誤信號 V > +10
輸出信號模擬 (4)
電壓 vs. 壓強 volts per decade 1
輸出信號模擬 (4)
負載阻抗, 小 k? 10
輸出信號模擬 (4)
第二模擬輸出 none
設點繼電器
設數量 none
數字功能 degas and emission
接口 (數字) (2) Diagnosis port
發射控制 manual真空計真空計真空計
燈絲 two Yttriumoxid (Y?O?) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態 / 繼電器 / relay
規格類型 BAG402電氣連接 D-Sub, 9-pin, male電纜長度，大值 m (ft.) 100 (330)暴露于真空中的材料 Y?O?, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass內部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)重量 KF / CF g 450 / 710保護級別 IP301）除氣期間準性降低2）不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現場總線備件BAG402備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF 354-484備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R 354-485附件BAG402Diagnostic cable 1.9m (P3) 303-333
