JKZC-DN系列增強(qiáng)型探針臺(tái)
|產(chǎn)品概要
JKZC-DN系列探針臺(tái)是我司一款增強(qiáng)型晶圓測(cè)試探針臺(tái)，可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)釆 用高剛性顯微鏡龍門(mén)結(jié)構(gòu)，顯微鏡可X-Y-Z方向進(jìn)行精密位移調(diào)節(jié)。卡盤(pán)具備上下調(diào)節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離，提高測(cè)試效率，在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了廣泛運(yùn)用，配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓LED/LCD/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試。
|技術(shù)特點(diǎn)
?顯微鏡具備高剛性龍門(mén)支架且搭配氣動(dòng)升降，保證高質(zhì)量的光學(xué)成像；
?卡盤(pán)同時(shí)具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；
?可升級(jí)性強(qiáng)，可升級(jí)卡盤(pán)360度快速移動(dòng)，可升級(jí)光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) | JKZC-DN4 | JKZC-DN6 | JKZC-DN8 | JKZC-DN12 | |
探針臺(tái)臺(tái)體 | 主體材料 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 | 航空鋁 |
整機(jī)尺寸（mm） | 580L*480W*620H | 630L*530W*620H | 700L*580W*620H | 800L*650W*620H | |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過(guò)濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾 | ||||
卡盤(pán)大小 | 4",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 6",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 12",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤(pán)XY5S行程 | 4"*4"，精度 10um | 6"*6"，精度 lOurm | 8"* 8"，精度 | 12"*12，精度 10um | |
卡盤(pán)Z軸行程 | 快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 | ||||
卡盤(pán)材質(zhì) | 不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻 | ||||
卡盤(pán)吸附方式 | 真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片） | ||||
背電極測(cè)試功能 | 卡盤(pán)鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能 | ||||
其它功能 | 帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)，ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)（選件） | ||||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U型平臺(tái)，Q235鍍第帶接地端子 | |||
大小 | 最多可放置4?6個(gè)探針座 最多可放置8~10個(gè)探針座 | ||||
■mkZB系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 16X~200X/40X~280X/20X~4000X | ||||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門(mén)架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum | ||||
CCD成像系統(tǒng) | 2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類 | 絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 | |||
X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm | ||||
機(jī)械精度 | 0.5um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 接口形式 | 同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA | |||
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/裸線等接口 | |||||
其它 | 選件 | ChJKZC-UCk360度快速移動(dòng)/屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | |||
電力需求 | 220V/50HZ |
標(biāo)準(zhǔn)探針臺(tái)/JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)
