全固態(tài)213 nm的紫外脈沖激光器廣泛用于紫外光固化，微電子，光盤雕刻，激光醫(yī)療，科學(xué)實驗等
參數(shù)
Wavelength (nm)波長 | 213±1 | |
Operating mode工作方式 | Frequency conversion of Q-switched pulsed laser | |
Max average power (mW)(1) 平均功率 | 10 | |
Single pulse energy (μJ)單脈沖能量 | 0. 1~0.8 | |
Pulse duration (ns)脈寬 |
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Peak power(kW)峰值功率 | 0.01~0.08 | |
Rep. rate (kHz) | QCW 頻率 | 9kHz-15kHz |
Power Stability (rms,over 4 hours) 工作穩(wěn)定性 | <5% | |
Transverse mode 橫模模式 | Near TEM00 | |
Warm-up Time (minutes) 預(yù)熱時間 | <10 | |
Operating temperature (℃) 工作溫度 | 10~35 | |
Warranty保修 | 1 year |
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