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電阻率/方塊電阻測試儀 型號:KD09-KDB-1庫號：D410754 查看hh
KDB-1電阻率/方塊電阻測試儀是嚴格按照相關
標準及標準設計制造，用來測量半導體材
料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，擴散
層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠、涂層
方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣部份、測試架
及四探頭組成。本儀器的特點是主機配置三個數
字表，在測量電阻率或方阻的同時，一塊數字表實
時監測全程的電流變化，及時掌控測量電流，一
塊監測2、3探間的樣品電壓，另一塊監測當前1、
4探的測量電壓，并可適當調整測量電壓避免材料
耐壓不夠而被擊穿。主機提供精度為0.05%的恒流源，
使測量電流高度穩定。并配有恒流源開關，在測量
某些薄層材料時，避免探尖與被測材料之間接觸
火花的發生，地保護薄膜。配合本公司的
產品：“小游移四探頭”，探采用碳化鎢硬質
合金，探游移率在0.1～0.2%，保證了儀器測量電
阻率的重復性和準度。且探壓力及曲率半徑可
根據材料性能不同及用戶需求定制。
技術參數
測量范圍:
電阻率1x106~2x10Ω·cm,小分辨率1x10Ω·cm;
方塊電阻:1x10~2x10‘Ω/□,小分辨率1x10Ω/□。
測量尺寸:可準測量的樣品尺寸直徑≥20mm;
可測量的樣品尺寸≥8mm。
測量方式:平面測量。
電壓表：三個數字電壓表，可同時觀察樣品
電流、樣品電壓及測量電壓變化。
A. 量程0~19.999mV、0~199.99 mV
B. 靈敏度：1μV和10μV
C. 基本±(0.004%讀數+0.01%滿度)
D. 輸入阻抗﹥1000MΩ
E. 4 1/2位數字顯示，0～19999
恒流源：
A. 電流輸出：直流電流0.0003～1000 mA連續可調
B. 量程：1μA、10μA、100μA、1 mA、10 mA、
100 mA、1000 mA七檔
C. 恒流源精度：10μA-1000 mA檔均≤±0.05%,
1μA≤±0.1%
4
5
測試電壓：
（1μA～10 mA檔）12～80V連續可調
（100mA檔）8～36V連續可調
（1000mA檔）8～15V連續可調
精度：
電器精度：1-1000Ω≤0.3 %
整機測量精度：0.005-1000Ω·cm≤3%
整機:495mm×445mm×153mm(長*寬*高)
重量:≤9Kg
電源:AC220V±10%,50Hz±5%,功率:≤40W
工作環境:濕度≤60%,預熱時間：20min
方塊電阻測試儀方塊電阻測試儀方塊電阻測試儀
包含KDB-1主機、KDJ-1A手動測試架、四探頭
