納米微位移傳感器主機
JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號調(diào)理電路，并針對適配探頭進(jìn)行驅(qū)動優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。
以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對指標(biāo)有著極高要求的超精密測量應(yīng)用。內(nèi)置不同的工作模式來分別適應(yīng)以靜態(tài)指標(biāo)為主的計量型測量和以動態(tài)指標(biāo)為主的實時應(yīng)用，以及兼顧動態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)的高帶寬超精密反饋控制系統(tǒng)應(yīng)用。多通道控制器內(nèi)置通道同步功能，支持最多6通道的同步測量，用于厚度檢測、旋轉(zhuǎn)偏差校正等應(yīng)用。
1、應(yīng)用領(lǐng)域
納米級運動測量
精密光學(xué)制造
超精密機床
超精密面型測量
微細(xì)形變測量
集成電路制造
2、技術(shù)特點
高精度
兼容動態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)
可設(shè)置多通道同時輸出和每個通道獨立輸出
體積小、重量輕，通過連接主體兼容多個通道
3、規(guī)格參數(shù)：
規(guī)格型號：
型號 | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | CDN300+前置放大器CPA110 | CDN600+前置放大器CPA110 |
適配探頭 | JKZC/506-100 | JKZC/510-200 | JKZC/20-2000 | ||
遞道數(shù) | 1 | 1 | 1 |
電氣特征：
輸出 | 模擬 | 模擬 | 模擬 | 搜:可乳,默認(rèn)士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | 搜:可乳,默認(rèn)士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | ||
電源 | ±15VDC | ±15VDC | ±15VDC | 220WAC | 220WAC | ||
內(nèi)置前置放大器 | 是 | 是 | 是 | 靜態(tài)分辨率 | 0.00004%FSR | 0.00004%FSR | |
量程 | 100um | 200um | 2000um | 動態(tài)分辨率@2kHz | 0.00013%FSR | 0.00013%FSR | |
分辣率RMS | 2Hz | 0.02nm | 0.04nm | 0.31nm | 帶寬 | 可調(diào)，默認(rèn)2kHz | 可調(diào),默認(rèn)2kHz |
25Hz | 0.04nm | 0.08nm | 0.78nm | 數(shù)據(jù)輸出速率 | 可調(diào)，默認(rèn)3*10kHz | 可調(diào)，默認(rèn)6*10kHz | |
1KHz | 0.11nm | 0.21nm | 1.16nm | 重復(fù)性 | 0.00017%FSR | 0.0001T%FSR | |
2KH2 | 0.15nm | 0.30nm | 1.53nm | 線性度 | 0.00017%FSR | 0.015%FSR | |
默認(rèn)帶寬 | 2kHz | 2kHz | 2kHz | 同步測量 | 支持 | 支持 | |
重復(fù)性 | 0.21nm | 0.39nm | 2.1nm | 觸發(fā)輸出 | 4路TTL。事件可配置 | 8路TTL。事件可配置 | |
其他:
工作溫度范圍 | -20-100°C | 0-70°C | 0-70°C |
請用探頭電攬 | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m |
尺寸 | CDM-006/CDM 300/CDM 600 | 342mmx250mmx132mm | 150mmx250mmx 132mm |
