自動白光干涉儀SIS 2000的詳細信息
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。
技術參數機型SIS 2000工作臺尺寸350mm×350mm傾斜度±3°測量行程X:200mm Y:200mmZ軸行程100mm運動方式自動，馬達驅動掃描速度30μm/sec垂直分辨率
2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器：實現測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件：基于windows 操作系統的用戶界面，強大而快速的運算。
技術參數機型SIS 2000工作臺尺寸350mm×350mm傾斜度±3°測量行程X:200mm Y:200mmZ軸行程100mm運動方式自動，馬達驅動掃描速度30μm/sec垂直分辨率
