產品功能
    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量、角度變化量的監測、移動平臺運動情況的檢測、光刻機幾何量的測量、數控機床幾何量的測量等，多可實現六軸聯動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關系測量檢測物體的振動變化。

性能優勢
l   真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別，眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l  部件皆在德國生產制造，非為了降而在第三方進行部件加工。光學組件采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l  激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l  干涉鏡采用差分干涉原理，系統更高，可達±0.4ppm。
l   計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l   采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可為0.1nm）。
l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。
l 信號<200ns；對電磁干擾不敏感。
l  對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術參數

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖