分辨率可達(dá)納米級(jí),主要應(yīng)用于精密機(jī)床、測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡、電子工業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)中的測(cè)量設(shè)備等其它精密儀器。主要技術(shù)指標(biāo): *柵距:0.02mm(50線對(duì)/mm);0.01mm(100線對(duì)/mm) *:0.002mm;0.004mm *響應(yīng)速度:60m/min *輸出信號(hào):A、B兩路脈沖,相位差90度 *量程:0-900mm *工作電壓:5V(100mA) *信號(hào)波型:正弦波







