| 品牌 | 源興 | 型號 | YVM-3020GT |
| 測量行程 | 300X200X200（mm） | 操作方式 | 程序控制 |
| 測量 | X,Y,AXIS:3+(L/200)UM | 外形尺寸（長*寬*高） | 780X680X1200（mm） |
| 儀器型號 | YVM-3020GT |
| 量測行程 | 300X200X200 |
| X,Y,Z,小顯示值 | 0.0005 |
| 量測 | X,Y,AXIS:3+(L/200)UM |
| 重復 | 3UM |
| 測量方式 | 影像式 |
| CCD | 日本SONY43萬象素彩色高清晰度攝影機 |
| 鏡頭 | 美國"NITAR"高清晰度0.7-4.5XZOOM變焦鏡頭 |
| 工作距離 | 115MM(影像) |
| 聯想電腦 | "賽陽"4 CPU 160G硬盤 1G內存 17寸液晶顯示器 |
| 測量軟件 | YR-VT(可實現Z軸測量和平面度測量,并可接測針) |
| 升降立柱 | 花崗石立柱 |
| 儀器基座 | 000級高穩定性花崗石底座 |
| 照明 | 上光源采用八區段可調LED無影燈,下光源采用LED平行泠光源 |
| 外觀尺寸 | 780X680X1200 |
| 儀器重量 | 200KG |
