質(zhì)量流量控制器（大流量，常閉閥）

1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559獨(dú)有的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應(yīng)時(shí)間。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過使用一“平衡力”閥門的設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內(nèi)部的非平衡狀態(tài)。1559的為全量程的±1％。

例：型號(hào)1559A00421LS1BV    

 采購序列號(hào)          

校準(zhǔn)氣體（SEMI氣體編號(hào)）*

Helium, He                      001

Argon, Ar                004

Hydrogen, H2            007

Nitrogen, N2             013

Oxygen, O2               015

**校準(zhǔn)流量SLM－sccm（相當(dāng)?shù)獨(dú)?/span>200SLM）

20                    021L  

50                    051L  

100                 12L  

200                 22L 

裝配件（Y）

標(biāo)配：Swagelok 0.5英寸管                       S   

選配：Swagelok^R8VCR^R凸接頭                    R  

選配：Swagelok^R8VCO^R凸接頭                     G   

閥

常閉                                1

電氣/通訊連接器

模擬15針D                           B

密封（Z）

標(biāo)配: Viton^R                           V  

選配: Neoprene^R                        N    

選配: BunaN                            B   

選配: Kalrez^RR                          K   

用于1559A的電纜線

CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247                                            

（如要在247上連接2個(gè)以上的通道，需要添加一個(gè)電源，請(qǐng)用CB1559-1-10）           

CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167                             

CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS