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無接觸硅片厚度電阻率測(cè)試儀
無接觸硅片厚度電阻率測(cè)試儀
  • 無接觸硅片厚度電阻率測(cè)試儀
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無接觸硅片厚度電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品價(jià)格：
電議
產(chǎn)品型號(hào)：
RTM660C
供應(yīng)商等級(jí)：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式：
工廠
企業(yè)名稱：
北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司
所屬地區(qū)：
北京市
發(fā)布時(shí)間：
2013/7/3 14:48:05

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北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營(yíng)模式：工廠

所在地：北京市

主營(yíng)產(chǎn)品：少子壽命測(cè)試儀,硅錠探傷儀,硅料分選儀,硅片自動(dòng)41點(diǎn)精密測(cè),手動(dòng)硅片測(cè)厚儀,碳氧含量測(cè)試儀,硅片表面線痕測(cè)試儀,硅料檢測(cè)分選儀,太陽能級(jí)硅少子壽命測(cè),硅棒、硅錠探傷儀,光伏檢測(cè)顯微鏡,薄膜方塊電阻測(cè)試儀,手持式電阻率測(cè)試儀,便攜式硅料分選儀,鎢鋼探針,全自動(dòng)硅片測(cè)厚

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RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測(cè)試系統(tǒng)

RTM660C采用高的厚度及電阻率探頭，配以強(qiáng)大的軟件控制，可以用多種方式進(jìn)行無接觸式測(cè)量，使得測(cè)試過程變得十分高效。系統(tǒng)采用一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便。使用者在操作平臺(tái)上轉(zhuǎn)動(dòng)硅片，測(cè)試數(shù)據(jù)可即時(shí)顯示，并可對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理。高電容式厚度探頭和電渦流式電阻率探頭，保證測(cè)試結(jié)果且穩(wěn)定。RTM660C可廣泛使用于研究、生產(chǎn)及質(zhì)檢等場(chǎng)所，友好的人機(jī)交互界面，使用相當(dāng)便捷。

技術(shù)參數(shù)  
■ 硅片規(guī)格：
     方片125x125mm、156x156mm
     圓片3″、4″、5″、6″、8″
■ 測(cè)試功能
     厚度：?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)厚度
     TTV：總厚度偏差
     體電阻率：?jiǎn)吸c(diǎn)及多點(diǎn)體電阻率
■ 測(cè)試指標(biāo)
     厚度范圍：150～1000μm
     測(cè)量誤差：≤±1.0μm
     重復(fù)性：≤±0.20μm
     TTV范圍：0.00μm～200.00μm
     測(cè)量誤差：≤±0.50μm
     重復(fù)性：≤±0.20μm
     體電阻率范圍：0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
     測(cè)量誤差：≤±3%
     重復(fù)性：≤1.5%
■ 設(shè)備尺寸/重量：470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg
■ 測(cè)試環(huán)境要求：溫度范圍15～27℃
■ 濕度范圍：35%～85%
■ 電源要求：220VAC,50Hz
■ 控制器：高性能主機(jī)

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所在地：
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類型：
工廠
地址：
北京大興區(qū)西紅門路26號(hào)明珠商務(wù)7A-306

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