為了提供一種快速、可靠的在未切割的晶圓片上獲得力學(xué)數(shù)據(jù)的方法，我們的工程師開發(fā)出一種強(qiáng)大的解決方案— NANO Indenter XPW。配備一個可以支持試樣直徑達(dá)300毫米的樣品臺，該產(chǎn)品基本上可以滿足所有的工業(yè)需求。

基于業(yè)已成熟的 NANO Indenter 技術(shù)，XPW 對表面的表征可以達(dá)到幾個納米的量級。該尺度上的性質(zhì)，例如硬度與彈性模量對半導(dǎo)體裝置的產(chǎn)量、效能及壽命有著顯著的影響。作為一個獨(dú)特的系統(tǒng)，產(chǎn)品具有實(shí)用設(shè)計 、易于使用、簡化測試的軟件接口、以及快速、簡潔的樣品裝載特點(diǎn)。采用23位電子儀器及超常的數(shù)據(jù)采集速率，NANO Indenter XPW為您提供在儀器化納米壓痕系統(tǒng)上可獲得的準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。

類似于其它納米壓痕系統(tǒng)，XPW 使用金剛石壓頭產(chǎn)生一個可控的壓痕。隨著連續(xù)監(jiān)測壓頭的位移數(shù)值，設(shè)備產(chǎn)品可提供測試樣品的硬度、楊氏模量、斷裂韌性以及其它力學(xué)性質(zhì)和數(shù)據(jù)計算等。
 

Nano Indenter XPW 能夠配置可選真空樣品固定系統(tǒng)，這里顯示的是一個6英寸的晶圓片樣品臺。
 

NANO Indenter XPW 采用軟件控制，使用簡單。操作人員僅僅需要決定在什么位置壓痕，以及進(jìn)行什么樣的實(shí)驗(yàn)。XPW 就可以自動進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測試，確保每個測試是一致的、合理的并且是準(zhǔn)確的。

系統(tǒng)部件
 

• NANO Indenter XPW 測試系統(tǒng)包括以下元件：
   

• 壓痕組元
   

• 帶鼠標(biāo)控制的機(jī)械化樣品操作臺
   

• 振動隔離臺及環(huán)境隔離
   

• 光學(xué)成像系統(tǒng)
   

• 帶幀取樣軟件的像機(jī)
   

• 預(yù)置金剛石壓頭(Berkovich)
   

• 軟件控制、自動定位
   

• 包括計算機(jī)、監(jiān)視器、鍵盤以及全自動的數(shù)據(jù)采集與控制系統(tǒng)(基于 Windows 系統(tǒng))
   

• 全套 TestWorks 操作與數(shù)據(jù)分析軟件
   

• 彩色噴墨打印機(jī)
   

特色與優(yōu)勢
 

• 快速、準(zhǔn)確的納米力學(xué)表征
   

• 快速、準(zhǔn)確生成實(shí)時的測試結(jié)果
   

• 無需切割，節(jié)省時間與成本
   

• 全自動測試－儀器運(yùn)行無需照管
   

• 自動以 Microsoft Word 和 Microsoft Excel 格式測試結(jié)果