分子泵具體可分為： 

  1)牽引分子泵 氣體分子與運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
  2)渦輪分子泵 靠旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
  3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。

分子泵的結構特點

　　 復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的優點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產的一種采用氣體靜承和動密封的復合分子泵，可以做到無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

分子泵的分類

　　 復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用來泵的抽速，一般采用有利于抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，泵的出口壓力。 　　 盤式牽引級是在平板圓盤平面上按規律開出數條型線溝槽，然后將數塊圓盤串接起來構成，型線有阿基米德螺線、對數螺線、圓弧線等。抽氣時靠轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動，從而抽氣目的。 　　 筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，泵的抽氣效果。在設計制造中，可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來較理想的抽氣效果。

分子泵設計要點

　　 在復合分子泵的設計中，須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以泵的抽氣性能。 　　 隨著復合分子泵的不斷改進，其應用領域越來越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環境。

分子泵有關標準

　　 /T 10771-2007 真空技術 復合分子泵 　　 /T 9125-2007 真空技術 渦輪分子泵 　　 SJ 3192-1989 立式渦輪分子泵型式與基本參數 　　 SJ/T 10097-1991 F-250/1400型立式渦輪分子泵 　　 SJ/T 11085-1996 立式渦輪分子泵通用技術條件 　　 GB/T 7774-2007 真空技術 渦輪分子泵性能參數的測量