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技術參數：

激發
- Mo 靶X光管
功率：30W,電壓：48kV
- 測量點尺寸
Midex SD: 1 mm, Midex LD: 1.2 mm


樣品室
- 可顯示樣品的攝像系統(可調焦)
- 手動調節樣品臺，樣品定位簡便
- 馬達驅動移動的XYZ樣品臺，
行程240x178x160 mm/9.4x7.0x5.3’’(寬x深x高)，
樣品重量：3kg/6.6 lbs

計算機
- 外置式計算機系統，Windows
操作系統，
- 鍵盤，鼠標，顯示器，打印機
- 菜單式軟件，光譜儀參數調整和
數據評估及計算，元素成分及分布顯示


檢測器
- Peltier 冷卻的Si 漂移檢測器:
Midex SD: 10 mm2, Midex LD: 30 mm2
- 以Mn Kα線，在測量計數率為
10，000脈沖計數時， 能量分辨率：FWHM< 160 eV
- 微處理器控制的檢測器和讀出電路
- 脈沖計數率可達250，000 cps

光譜儀數據
- 電壓：95-120V/200-240V,50/60 Hz,
- 光譜儀能耗：200W
- 儀器尺寸 寬x 深 x 高，單位mm
580x670x740 mm/22.8x26.4x29.1”
- 底座尺寸寬x 深:500x550 mm/19.7x21.6 ”
- 重量55-70kg/121.3-154.3 lbs,根據不同配置

分析
- 用于合金元素分析的基本參數程序FP +
- 塑料及復合材料的RoHS指令檢測

環境條件
- 周圍環境溫度：5-30°C （41-85°F）
在20-25°C （68-77°F）下，可達到標定儀器性能
- 在 25°C (77°F)下相對濕度: 10-80 %，無冷凝，無蒸氣腐蝕，防塵

SPECTRO MIDEX X射線熒光能譜儀是新推出的第三代產品，不僅可對樣品的微小區域進行快速無損的檢定，還可對超大樣品的表面（面積可達EC標準線路板規格的2倍， 233x160 mm）進行元素分布分析。