TDC-200膜層控制儀在線測(cè)量和控制鍍膜的速率和膜層的厚度，具有閉環(huán)控制沉積速率，與光學(xué)控制設(shè)備配合使用，可完成復(fù)雜的光學(xué)鍍膜。本儀器可以控制單層或多層膜的沉積，通過(guò)對(duì)沉積工藝的數(shù)字化控制，大幅提高鍍膜的質(zhì)量和可重復(fù)性。可使用全自動(dòng)模式來(lái)完成復(fù)雜膜系的制備，同時(shí)又提供了半自動(dòng)和手動(dòng)的控制方式，與自動(dòng)化程度不同的鍍膜設(shè)備協(xié)同工作。   ▲ 配置     TDC-200膜層控制儀可支持標(biāo)準(zhǔn)單探頭、帶擋板單探頭和帶擋板雙探頭。     TDC-200膜層控制儀配備了RS-232工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通信接口，配合本公司提供的計(jì)算機(jī)控制軟件，方便用戶在計(jì)算機(jī)上進(jìn)行膜系編程，通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。用戶也可根據(jù)本公司提供的通信協(xié)議進(jìn)行二次開(kāi)發(fā)，在自行設(shè)計(jì)的軟件中集成測(cè)量和控制功能，可方便地實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成。     TDC-200膜層控制儀具有16個(gè)獨(dú)立輸入/輸出端口。具有兩個(gè)高的源控制電壓輸出，以配合有兩個(gè)源的真空鍍膜設(shè)備，特別是在進(jìn)行多層鍍膜時(shí)，大大提高了控制,進(jìn)而提高鍍膜質(zhì)量。 ▲ 編程     TDC-200型膜層控制儀采用全中文人機(jī)操作界面,易于使用。配備256x128大型圖形點(diǎn)陣LCD，低功耗LED背光，整屏顯示內(nèi)容多，并支持滾屏，用戶編程和操作方便快捷。       TDC-200膜層控制儀具有5個(gè)可編程工藝膜系，每個(gè)工藝膜系多能設(shè)定99層，共計(jì)495個(gè)膜層。包含一個(gè)267種材料的材料參數(shù)庫(kù)，其中已定義的材料為257種，未定義的材料10種，可由用戶自行設(shè)定。 ▲ 功能     TDC-200膜層控制儀提供給用戶厚度、速度、功率等實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，以便用戶可以對(duì)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，并提供速度曲線和功率曲線，通過(guò)觀察過(guò)程曲線了解鍍膜情況，方便用戶迅速找到的控制工藝。    TDC-200膜層控制儀采用閉環(huán)控制技術(shù)穩(wěn)定材料的沉積速率，與光學(xué)控制設(shè)備配合使用時(shí)，可配合光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量膜層的光學(xué)厚度，用來(lái)補(bǔ)償物理厚度和光學(xué)厚度之間的偏差，可以滿足復(fù)雜的光學(xué)鍍膜工藝要求。     在鍍膜過(guò)程中，當(dāng)晶片無(wú)效時(shí)，TDC-200膜層控制儀能自動(dòng)設(shè)定中斷，并啟動(dòng)切換程序，控制雙探頭系統(tǒng)，待晶片切換成功后，繼續(xù)恢復(fù)鍍膜，以確保多層鍍膜工藝連續(xù)性。      規(guī)格

測(cè)量 頻率計(jì)算  0.03Hz(在6.0MHz) 頻率顯示  0.01Hz 測(cè)量速率        10Hz 顯示 厚度顯示      000000?～999999? 速率顯示      000.0～999.9 ?/s 功率顯示      00.0～99.9% 時(shí)間顯示      00:00:00～23:59:59（時(shí):分:秒）圖形顯示      256x128LCD，低功耗LED背光 存儲(chǔ)能力 膜系            40個(gè)層               每膜系99層，共3960層材料庫(kù)         已定義257種材料，用戶可再定義                   10種材料 通訊 通訊接口      標(biāo)配RS-232串行口 WINDOWS軟件  選配

控制能力 膜系               40 層/膜系            01～99 源                   1～2 坩堝                1～12 探頭規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)單探頭帶擋板單探頭（可選）帶擋板雙探頭（可選） 探頭數(shù)量              可支持2路 源電壓輸出范圍    0～±2.5V                            0～±5V                            0～±10V 輸出能力          16個(gè)繼電器,2A 輸入能力          16個(gè)隔離通道,可接入交直流                         信號(hào) 供電要求          220V（±5%），50Hz，功率                        ≤40W 工作溫度          0℃～50℃ 儀器尺寸          135 x 480x360mm(高x寬x                        深)，可用于19’標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)機(jī)架 儀器重量          5.5Kg