儀器簡(jiǎn)介：
Dektak 8臺(tái)階式探針輪廓儀，結(jié)構(gòu)緊湊，可提供很高的重復(fù)性和。獨(dú)特的X–Y方向定位系統(tǒng)可移動(dòng)到8 x 8 inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測(cè)量臺(tái)階高度和表面紋理，還能測(cè)量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點(diǎn)高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak 8系統(tǒng)對(duì)于MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。
技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)
臺(tái)階高度重復(fù)性: 7.5Å,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階上
晶圓尺寸：200mm
樣品厚度：25.4mm （1 in.)
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：多可達(dá)60，000數(shù)據(jù)點(diǎn)
掃描長(zhǎng)度范圍：標(biāo)配50mm
垂直范圍：標(biāo)配262um；可選1mm
垂直分辨率：1Å (6.55微米垂直范圍下）
主要特點(diǎn)：
1. 臺(tái)階高度測(cè)量重復(fù)性高
2. 是功能為強(qiáng)大的探針輪廓儀，可限度的滿足各種應(yīng)用需要
3. 簡(jiǎn)單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀，掃描范圍可達(dá)200mm
