儀器簡介：
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（技術的相干相關算法）干涉原理，可高測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
技術參數：
(1) 類型：CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點：
•的相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（技術的相干相關算法）干涉原理，可高測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
技術參數：
(1) 類型：CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。
主要特點：
•的相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A
