DANTSIN-LAMTECH平面度測量機 TOPOS-50/100 總代理 廠家
DANTSIN-LAMTECH平面度測量機，采用掠入射光干涉原理，專注于加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于半導體行業（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Gl)、泵、閥門密封件表面(Sealing surfaces)，以及光學工程，激光工程等領域。
產品特點：
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 評估: ＜0.4μm
◆ 測量速度快: ＜3秒
◆ 可用于車間現場, 100%全檢
◆ 平面度評估合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動識別系統, 或手動指定區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估
◆ 數據采集量大, 完成對300,000點的評估
◆ 快速生成并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件
◆ 廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等

技術參數：

測量范圍（直徑）： 50mm、100mm
參考平面平面度：0.06μm
參考面材料：石英玻璃
：（0.1～0.4）μm+2%×測量值，基于靈敏度
分辨率：0.01μm
測量時間：小于2s