特點
• 高測針型CNC 表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀／輪廓的測量。
• X1 軸和Z2 軸的驅動速度分別為40mm/s 和200mm/s，可以定位，從而了多重輪廓／多工件測量的效率。
• X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨率(X1 軸分辨率：6.25nm,Z1 軸分辨率：4nm/8nm) 的輪廓／形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。
• Z1 軸檢測器采用主動控制方式，減少Z1軸動態(tài)測力變化的同時擴展了測量范圍。
• Z1 軸檢測器集成了碰撞裝置，當儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。
• 帶有Y 軸工作臺的型號，可沿Y 軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
• 提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在按鍵上標有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態(tài)。
• 通過U 端口與數據處理／分析裝置(選件) 進行信息交換。

技術參數:
X1 軸
測量范圍: 100mm
分辨率: 0.00625μm
檢測方法: 激光全息光柵尺
驅動速度: 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)
測量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)
移動方向: 向前／向后
直線度: (0.05+0.0003L)μm
指示 (20° C): &plun;(0.16+0.001L)μm
L 為驅動長度(mm)
Z1 軸
測量范圍: 12mm
分辨率: 0.001μm
測針上／下運作: 弧形運動
檢測方法: 激光全息光柵尺
指示 (20° C): &plun;(0.07+I0.02HI)μm
H 為測量高度(mm)
測力: 4mN
跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°
(取決于表面粗糙度)
測針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石
(球型測針) (半徑: 0.25mm, 藍寶石)
測針方向: 向下
Z2 軸(立柱)
測量范圍: 300mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)
基座尺寸(W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm
重量: 190kg