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1. GD25粗糙度驅(qū)動(dòng)器
（1） 測(cè)量長(zhǎng)度 20mm
（2） 測(cè)速 0.5 mm/s或0.1 mm/s,可調(diào)
（3） 直線度誤差 0.2um/20mm
（4） 電動(dòng)高度調(diào)整 4 mm
（5） 平面上手動(dòng)調(diào)整傾斜 +10um/mm
2. PCV200輪廓驅(qū)動(dòng)器
（1） 水平驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 置于concept輪廓儀上至200mm
（2） 輪廓垂直測(cè)量范圍 50mm(相對(duì)點(diǎn)為+/-25mm)
（3） 測(cè)力 2Mn …...120Mn,工件倒置測(cè)量也可以.
（4） 直線度誤差 <1um/200mm
（5） X/Z方向定位 1 um
（6） 測(cè)針?lè)直媛?/span> 0.25 um/ 175 mm測(cè)桿 0.5 um/350 mm測(cè)桿
（7） 系統(tǒng)分辨率 0.04 um
（8） 掃描速度 0.2 mm/s至8 mm/s
（9） 測(cè)量速度 0.1mm/s …..1mm/s
（10） 測(cè)角 在光滑表面可抬升+12 mm
（11） 測(cè)量?jī)A斜 驅(qū)動(dòng)器可傾斜+/-45º以上進(jìn)行測(cè)量
3. ST500測(cè)量工作臺(tái)
（1） 立柱移動(dòng)為 500mm
（2） 大理石底座臺(tái)面尺寸 700 x550 x 90mm
（3） 控制方式 電驅(qū)動(dòng)控制
（4） 調(diào)整裝置 配有傾斜
（5） T形槽 大理石平臺(tái)有10mm
4. 粗糙度測(cè)量軟件
（1） 測(cè)量原理 機(jī)械式指針接觸測(cè)量配有MFW250,
（2） 測(cè)量量程 &plun;25, &plun;250, &plun;500 um
（3） 粗糙度輪廓分辨率 垂直方向: 50微米量程為0.8納米
500微米量程為8納米
（4） 水平方向: 0.56毫米為35納米
1.75毫米為100納米5.6毫米
350納米17.5毫米為1微米
（5） 分辨率: 垂直方向 60,000:1
水平方向 16,000:1
（6） 垂直放大率 200,000
（7） 水平放大率 100,000
（8） ISO/DIN標(biāo)準(zhǔn)1級(jí)(相對(duì)誤差<5%)
（9） 濾波器類型 按照DIN 4777規(guī)定的輪廓濾波器(數(shù)字式和相位修正
式),RC濾波器,按DIN4776規(guī)定的濾波器.
（10） 截止波長(zhǎng) 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 mm
（11） 移動(dòng)長(zhǎng)度 0.56 / 1.75 / 5.6 / 17.5 mm
（12） 測(cè)量長(zhǎng)度 0.4 / 1.25 / 4.0 / 12.5 mm
（13） 移動(dòng)長(zhǎng)度 0.56 …..17.5mm可調(diào)
（14） 參數(shù) Ra, Rz, Rmax, S(RS), (R), tp(RMr),Rp, Rdq, Pt,
Rt, Rq, RzISO, R3z, P, PMr, Wt, Sk, Pc, Rk and all parameters as per DIN4776 (Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …) Analysis as per CMO (NR.05-015) : Ncrx, , Nr, Pt, PtRmax, R, AR , Nw, Wt, Wmax, W, AW，法國(guó)汽車工業(yè)(NR.05-015)標(biāo)準(zhǔn)分析: Ncrx, , Nr, Pt, Rmax, R, AR, NW, Wt, Wmax, W, AW. DIN4776規(guī)定的參數(shù)(Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …)，Wa,Wt,Wc，EN ISO 13565標(biāo)準(zhǔn): Rk, Rvk, Rpk, Rpkx, Rvkx，EN ISO 12085(Motif)標(biāo)準(zhǔn): R, AR, W, AW, Rx, Wx, Wte, Nr, Ncrx, Nw, CMP, Sr, Sar, Sw, Saw
5. 輪廓測(cè)量軟件
（1） 測(cè)量原理 觸針?lè)?/span>
（2） 傳感器 裝在PCV200驅(qū)動(dòng)器上的測(cè)尖和測(cè)臂.
（3） 測(cè)量范圍 使用PCV200驅(qū)動(dòng)器輪廓高度為50mm(或&plun;5mm),
（4） 水平長(zhǎng)度 200mm.
（5） 垂直放大率 2,000或更大
（6） 輪廓各取樣點(diǎn)之間的距離 0.07 um當(dāng)取樣速度為0.1 mm/s
（7） 0.35 um當(dāng)取樣速度 0.5mm/s
（8） 參數(shù) 曲率半徑,角度,距離,坐標(biāo),回歸直線的和創(chuàng)
作,圓,圓截 面,確定各個(gè)點(diǎn),相交各點(diǎn),坐標(biāo)軸,直線,垂直線,圓和圓截面.
（9） 校準(zhǔn) 校準(zhǔn)操作.
6. 200型 X-Y置物工作臺(tái)
（1） 兩個(gè)坐標(biāo)方向可移動(dòng) 2.5mm ,旋轉(zhuǎn)5度
（2） 工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 200X200mm
7. PCV輪廓校準(zhǔn)裝置
（1）標(biāo)準(zhǔn)球 45mm陶瓷球和8mm紅寶石球
