橫河ZR22G/ZR402G分氧化鋯高溫濕度分析儀
產(chǎn)品信息
橫河電機(jī)新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)積累和業(yè)績(jī)基礎(chǔ)上研發(fā)出來(lái)的。
氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不剝離，還可以減小傳感器尺寸，響應(yīng)和長(zhǎng)壽命。
OX400可用于控制和各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。
用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制 用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量 測(cè)量氧氣濃度，粉塵運(yùn)輸中粉塵
特性#使用壽命長(zhǎng)，響應(yīng)速度快
--由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期了三倍
--圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體，響應(yīng)
#和高性
--即使在低氧濃度下，仍具有高的和線性
--在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式
#內(nèi)置功能和多種自診斷功能
--自帶多選擇器，自動(dòng)量程，特定量程以及泵開(kāi)/關(guān)功能
--提供多種自診斷功能，以檢測(cè)故障，如加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤
#出眾的維護(hù)性
-- 可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器
--小型輕量，易于安裝
規(guī)格| 測(cè)量對(duì)象 | 惰性氣體中的氧氣濃度 (易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外) | ||||||||
| 測(cè)量系統(tǒng) | 氧化鋯系統(tǒng) | ||||||||
| 采樣方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 樣氣條件 | 流速: 200 &plun; 25ml/min(用于傳感器) 溫度: 0~50℃(無(wú)結(jié)露) 濕度: 無(wú)結(jié)露 壓力: 0~300PaG 容許壓力: 30kPaG | ||||||||
| 測(cè)量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 輸出量程 |
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| 模擬輸出 | 2路輸出， : 4～20mA DC(負(fù)載電阻: 550Ω) 二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大) | ||||||||
| 接點(diǎn)輸出 |
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| 接點(diǎn)輸入 | 1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程O(píng)N/OFF | ||||||||
| 自診斷 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 標(biāo)定方法 | (1)3點(diǎn): 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點(diǎn): 可設(shè)定為點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點(diǎn)，(4)空氣標(biāo)定 | ||||||||
| 暖機(jī)時(shí)間 | 20分以?xún)?nèi) | ||||||||
| 電源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA ，220～240V AC，400 VA | ||||||||
| 尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm | ||||||||
| 質(zhì)量 | 約5kg | ||||||||
| 管線連接 | 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 | ||||||||
| 環(huán)境條件 |
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| 合的標(biāo)準(zhǔn) 和EMC標(biāo)準(zhǔn) |
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&plun;3%F.S.(0~100ppm或更低) 響應(yīng)時(shí)間 90%響應(yīng)
10秒內(nèi)(0~1%或更高)
30秒內(nèi)(小于0~1%) 漂移 &plun;2%F.S./周
