| 產品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品型號：ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品產地：德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 制 造 商：德國耶拿爾測量技術有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 詳細介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機幾何量的測量，數控機床幾何量的測量，多可實現六軸聯動。具有以下性能優勢： l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別。德國耶拿爾公司是為數不多的雙頻激光干涉儀的制造商，眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩定。 l 全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。 l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統更高，可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。 l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。 l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。 l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。 技術參數
應用 以下是為中國科學院設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用。在個中，用兩個3軸角度干涉儀分別監視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。 以下是為國內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數據是被監視目標Ⅰ、被監視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。 ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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