FormtracerExtreme(表面粗糙度/輪
廓測量裝置)CS-5000CNC/CS-H5000CNC
525系列—CNC形狀測量儀
特點(diǎn)
•高測針型CNC表面測量儀可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪廓的測量。
•X1軸和Z2軸的驅(qū)動(dòng)速度分別為40mm/s和200mm/s，可以定位，從而了多重輪廓／多工件測量的效率。
•X1軸和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨率(X1軸分辨率：6.25nm,Z1軸分辨率：4nm/8nm)的輪廓／形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。
•Z1軸檢測器采用主動(dòng)控制方式，減少Z1軸動(dòng)態(tài)測力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測量范圍。
•Z1軸檢測器集成了碰撞裝置，當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí)，檢測裝置可以自動(dòng)停止工作。
•帶有a軸的型號(hào)，可以通過電動(dòng)旋轉(zhuǎn)X1軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。
•帶有Y軸工作臺(tái)的型號(hào)，可沿Y軸進(jìn)行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
•提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個(gè)操縱桿選擇合適的軸進(jìn)行移動(dòng)。在按鍵上標(biāo)有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態(tài)。
•通過U端口與數(shù)據(jù)處理／分析裝置(選件)進(jìn)行信息交換。
技術(shù)參數(shù):
X1軸
測量范圍:200mm
分辨率:0.00625μm
檢測方法:激光全息光柵尺
驅(qū)動(dòng)速度:40mm/s(CNC模式)
0-40mm/s(操縱桿控制模式)
測量速度:0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)
0.02-2mm/s(形狀／輪廓)
移動(dòng)方向:向前／向后
直線度:(0.1+0.0015L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測針
(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針
直線度:(0.05+0.0003L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測針
(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針
指示(20°C):&plun;(0.3+0.002L)μm
指示(20°C):&plun;(0.16+0.001L)μm
L為驅(qū)動(dòng)長度(mm)
Z1軸
測量范圍:12mm(標(biāo)準(zhǔn)測針)
24mm(二倍長型測針)
分辨率:0.001μm(標(biāo)準(zhǔn)測針)
0.002μm(二倍長型測針)
測針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)
檢測方法:激光全息光柵尺
指示(20°C):&plun;(0.3+I0.02HI)μm
指示(20°C):&plun;(0.07+I0.02HI)μm
H為測量高度(mm)
測力:4mN(標(biāo)準(zhǔn)測針)
0.75mN(二倍長型測針)
跟蹤角度:向上60°、向下60°
(取決于表面粗糙度)
測針針尖:半徑:5μm,角度：40°、鉆石
(球型測針)(半徑:0.25mm,藍(lán)寶石)
測針方向:向下
Z2軸(立柱)
測量范圍:300mm(500mm：高立柱型)
分辨率:0.05μm
檢測方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(CNC模式)
0-50mm/s(操縱桿控制模式)
基座尺寸(WxD):750x600mm
基座材料:花崗巖
尺寸(WxDxH):800x620x1000mm(800x620x1200mm：高立柱型)
重量:240kg(250kg：高立柱型)
*CS-H5000CNC
軟件選件
FORMTRACEPAK
使用該軟件可以控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的Y軸工作臺(tái)和旋轉(zhuǎn)臺(tái)選件，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測量。使用該軟件還可以進(jìn)行輪廓評(píng)估，這項(xiàng)評(píng)估包括對級(jí)差，角度，深度，面積和其他基于表面粗糙度數(shù)據(jù)的特性進(jìn)行分析。另外，還可以通過設(shè)置打印格式建立原始檢測證書，以適應(yīng)不同的需求。
測針
12AAJ037:標(biāo)準(zhǔn)長度測針(針尖半徑5μm)
12AAD544:標(biāo)準(zhǔn)長度球型測針
12AAD651:用于小孔的標(biāo)準(zhǔn)長度探針
12AAJ039:二倍長型測針(針尖半徑5μm)
12AAD652:用于小孔的標(biāo)準(zhǔn)長度測針
12AAG155:二倍長型測針(針尖半徑2μm)
12AAD653:標(biāo)準(zhǔn)長度離心測針
12AAD546:二倍長球型測針
