上海續(xù)波光電技術有限公司
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配置如下：
預處理腔：襯底旋轉、傾斜（3D）；真空度10-8 Torr
蒸發(fā)鍍膜腔：電子6-15KW；
可加載4英寸襯底；襯底旋轉、傾斜，和重復性0.01°（可升級）
真空度10-10 Torr或10-11 Torr
頻率分辨率10-4 Hz或更高；速率分辨率10-3 nm/s；厚度分辨率10-2 nm
氧化腔體：靜態(tài)/動態(tài)氧化（氧氣、氮氣等）；
真空度<10-8 Torr
全自動軟件包，支持半自動和手動模式，支持遠程網絡操作和維護。
