產(chǎn)品品牌：

日立

產(chǎn)品型號(hào)：

SU70

類型：

光學(xué)顯微鏡

日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU70的介紹

采用成熟的超高分辨率半內(nèi)透鏡技術(shù)和熱場發(fā)射電子槍，為探索納米世界打開了一扇新的大門。為了滿足在同一臺(tái)儀器上進(jìn)行綜合分析(需要大探針電流)和超高分辨率觀察的需求，日立開發(fā)了SU-70。

 

日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU70的特點(diǎn)

1.100nA的大探針電流

  新開發(fā)的肖特基電子槍保證100nA的大探針電流

2.通用的分析型樣品室

  預(yù)留了多種接口，可以安裝以下附件進(jìn)行

  分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低

  溫臺(tái)，樣品室CCD

3.分析模式(FF模式)

  觀察磁性樣品及EBSP、WDS分析

4.超高分辨率1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(減速模式)，超高分辨率的獲得利用了日立

  已被檢驗(yàn)的半內(nèi)透鏡技術(shù)。

5.超級(jí)ExB技術(shù)用于控制SE/BSE信號(hào)檢測，實(shí)現(xiàn)消除放電現(xiàn)象及信號(hào)混合

6.電子束減速技術(shù)保證了超低電壓的高分辨成像，用于淺表面觀察

 

日立熱場發(fā)射掃描電鏡SU70的技術(shù)規(guī)格

二次電子圖象分辨率

1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式)

2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

 

放大倍數(shù)

1.低放大倍數(shù)模式20-2,000x

2.高放大倍數(shù)模式100-800,000x

 

電子光學(xué)

1.電子槍   ZrO/W肖特基電子槍

2.電流     1pA-100nA

3.加速電壓0.5-30KV(標(biāo)準(zhǔn)模式)

4.著陸電壓0.1-2.0KV(減速模式)

5.透鏡系統(tǒng)3級(jí)電磁線圈系統(tǒng)

6.物鏡光闌4孔光闌,真空外選擇和細(xì)調(diào)

 

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)控制5軸馬達(dá)控制

移動(dòng)范圍

X     0-110mm

Y     0-110mm

z     1.5-40mm

T     -5O-+700

R     360O

樣品尺寸直徑150mm(標(biāo)準(zhǔn))

()  直徑200mm(可選)

 

探測器

1.二次電子探測器

2.背散射電子探測器(可選)

3.STEM探測器(可選)

4.法拉第杯(可選)

5.X射線能譜儀(可選)

6.X射線波譜儀(可選)

7.EBSP探測器(可選)

8.陰極熒光探測器(可選)