- 品牌/商標：MicroSense
- 企業類型：貿易商
- 原產地：美國
- 高：0.1nm
- 高帶寬：10HZ-100KHZ
MicroSense電容式微位移傳感器
MicroSense 微位移
MicroSense傳感器
MicroSense非接觸式傳感器
MicroSense探頭
高傳感器
激光傳感器
渦流傳感器
傳感器類型
感應器原理
接觸式位移傳感器
直線位移傳感器
線性度傳感器
線性度測量
主軸測量
厚度測量
定位應用
平面度測量
MicroSense有限責任公司成立于1967年，原隸屬于KLA-Tencor公司。以其超高分辨率、非接觸式的空間尺寸測量技術聞名。MicroSense提供傳感器和OEM計量模塊，在其的電容式感應技術基礎上，進行超高，高帶寬的精密測量應用，如太陽能硅片(厚度測量)，硬盤驅動電機（主軸跳動誤差分析），氣浮主軸（主軸跳動誤差分析），精密XY工作臺（位移量測試及定位），光盤（厚度、平坦度測量），汽車零部件及機床（直線度、平坦度及定位）,伺服反饋系統（如鉆石切割、壓電式切割機）。我們的電容式位移傳感器提供了在同行業中的分辨率（小于0.05納米），具有出色的穩定性和幾乎無限的使用壽命。
產品參數：
MicroSense旗下共有4800、5800、6800和8800系列產品。探頭主要分為被動式和主動式兩種型號。探頭型號的選擇需要綜合考慮被測物體尺寸、運動速度等因素。
被動式探頭具有高線性度、高穩定性、高分辨率的特點，帶寬支持：10Hz、100Hz、1KHz、10KHz、支持20KHz帶寬，線性度為滿量程的0.02% - 0.1%,量程范圍從+/- 5um - +/-2mm，穩定性：一般優于200ppm/oC，分辨率為納米或亞納米級別，輸出電壓：+/- 10V；
主動式探頭具有高帶寬、高動態、高分辨率、高信噪比的優良性能，帶寬支持：1KHz、5KHz、20KHz、100KHz，線性度為滿量程的0.1% - 0.5%,量程范圍從+/- 25um - +/- 1mm.穩定性：一般優于200ppm/oC，分辨率為納米或亞納米級別，輸出電壓：+/- 10V。
主要應用于馬達轉子測量、驅動電機測試等高速運轉的應用。
以下列舉部分探頭參數：
典型分辨率(RMS, nm)
探頭? | 范圍 | 帶寬 | 分辨率 |
(mm) | ±μm | (kHz) | (nm rms) |
10 | 500 | 1 | 5 |
5 | 250 | 1 | 6 |
3 | 100 | 1 | 1.8 |
3 | 50 | 1 | 0.6 |
1 | 250 | 100 | 25 |
0.5 | 50 | 100 | 5 |
產品性能優勢：
? 高分辨率，可達亞納米級分辨率；
? 沒有遲滯；
? 高帶寬，可支持100KHz帶寬；
? 小探頭尺寸，探頭尺寸及長度可根據客戶實際應用設計；
? 高；
應用領域：
1. 距離測試、機床和精密機臺的直線度和平面度測量
2. 機床主軸，空氣軸承主軸，軸承和精密電機徑向和軸向跳動測試
3. 硅片等厚度測試
4. 定位系統應用：
5. 自動對焦控制系
6. 伺服反饋系統
現有客戶群體：
清華大學、南開大學、天津大學、德國Bruker、荷蘭ASML、美國西部數據(Western Digital Corp)、美國Federal Mogul、美國FEI、韓國三星集團、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等企業及院所。
