- 產品品牌：
- Si-plasma
- 產品型號：
- BPCV001
- 結構形式：
- 其它
功能 真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器，控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源，
節省系統與蝶閥間復雜的配線，另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外，
更加入流量控制器的操作來調節壓力，可比一般外購蝶閥更容易穩定系統壓力 特點 ．ISO63~ ISO160管徑
．具備壓力與角度控制模式
．具備蝶閥本體與控制器
．內部提供壓力計電源
．可操作流量控制器調節壓力
．具備壓力異常警告 應用產業 ．鍍膜產業
．光電半導體產業
．相關真空制程領域
