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儀器特點
◆ 四軸CNC控制系統(tǒng)，全自動測量；
◆ 三軸精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；
◆ 精密花崗巖機臺，高、穩(wěn)定性好；
◆ TZTEK自動變倍光學鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量；
◆ 全鼠標的自動化控制，簡單易用；
◆ 可程控6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源，LED輪廓光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ 提供多種行程規(guī)格配置，如222、322、432、542等。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | VMC222 | VMC322 | VM32 | VMC542 |
| 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 |
| 外部尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | 1440×1000×1680 |
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | 400 |
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 測量 | XY軸* | E2=(2.2+L/200)µm | E2=(2.6+L/200)µm | |
| Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | |||
| 速度 | XY軸 | 200mm/S | ||
| Z軸 | 100mm/S | |||
| 光柵尺 | 0.5µ光柵尺 | |||
| 導(dǎo)軌 | Hiwin | |||
| 圖像傳感器 | 130萬像素數(shù)字彩色相機 | |||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調(diào) | ||
| 表面光 | 6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段操控，256級亮度可調(diào) | |||
| 同軸光 | 可選配，參數(shù)同輪廓光 | |||
| 光學鏡頭 | 6.5:1連續(xù)變倍 | |||
| 軟件 | Vispec測量軟件（VMC版） | |||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統(tǒng) | |||
| 保修期 | 1年 | |||
| 工作環(huán)境 | 溫度20℃&plun;2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | |||
| 振動<0.002g，低于15Hz | ||||
| 電源 | 220V/50Hz/10A |
| * L表示測量長度，以毫米為單位。** Z軸的機械，聚焦的與工件表面有很大關(guān)系。 |
