特點(diǎn)
• 分辨率／重復(fù)為0.1μm/0.4μm 時(shí)，精
度可(1.1+0.6L/600) μm。
• 垂直度(前部) 達(dá)5μm，直線度達(dá)4μm。
• 全／半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
• 帶有基本統(tǒng)計(jì)功能， 另外，通過(guò)RS-232C
數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連，
可實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估。
• 半自動(dòng)測(cè)量時(shí)具有單鍵操作功能。
• 通過(guò)Digimatic 工具實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
• 為方便用戶操作，可選擇多種信息語(yǔ)言包
括英語(yǔ)、德語(yǔ)、法語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、意大
利語(yǔ)、荷蘭語(yǔ)、葡萄牙語(yǔ)、瑞典語(yǔ)、捷
克語(yǔ)、匈牙利語(yǔ)、斯諾文尼亞語(yǔ)、波蘭語(yǔ)、
土耳其語(yǔ)、繁體中文*、朝鮮語(yǔ)** 和日語(yǔ)。
* 可選 ** 限518-341K 和518-342K 型